[实用新型]一种连续卷绕式磁控溅射真空镀膜装置

说明书

【技术领域】

本实用新型属于板式太阳能中的太阳能选择性吸收涂层的连续镀膜设备，属于太阳能热利用领域，尤其可以持续不间断在金属带卷上镀制选择性镀膜涂层的专用生产设备。

【背景技术】

太阳能热水器就是吸收太阳的辐射热能，加热冷水提供给人们在生活、生产中使用的节能设备。它是我国太阳能热利用中最为成熟和最为先进的产品。为百姓提供环保、安全、节能、卫生的新型热水器产品。我过前些年的太阳能热水器主要是以真空管太阳能热水器为主，但是真空管太阳能热水气只时候使用在小型独立使用的太阳能热水器中。随着太阳能利用的不断进步，现在一些大型太阳能热水器多采用平板式太阳能热水器，由于这种太阳能热水器中的集热板采用的都是金属板，在坚固耐用方面具有显著的优点，基本可以达到与建造物具有相同的使用寿命。而其中的集热板表面的选择性涂层的镀制质量和性能，是决定整个太阳能设备性能的关键技术。通过对中国专利的查询，中国专利200420077793.6中公开了一种太阳能选择性吸收涂层连续镀膜装置，该装置中是采用在每一个工艺室之前，或者连续镀膜时两个工艺室之间设置一个独立的真空过度装置，这样可以达到独立部件的连续镀制。但是上述的设备在镀制过程中，工件在每一个镀膜之后，都会脱落真空环境之后进入真空过度装置中，这样由于在两次镀制过程中工件在温度和真空条件变化，容易影响镀膜的质量。另外上述的连续镀膜装置只是独立部件的连续镀膜装置，还无法实现对于成卷的金属条带进行长时间连续镀膜生产。随着我国板式太阳能设备应用的普及和扩大。行业中急需一种生产效率高，且产品质量非常稳定的新型镀膜装置。上述的问题长期存在于本行业中，至今没有得到一个非常有效的技术解决方案。

【发明内容】

本实用新型的主要目的是提供一种长时间持续镀制太阳能选择性涂层的专用镀膜设备，该设备具有生产效率高，质量稳定和膜层性能优异的优点。

为了达到上述的技术目的，本实用新型采用的技术解决方案包括以下技术内容：一种连续卷绕式磁控溅射真空镀膜装置，包括放卷室、收卷室、张力控制室、预处理室、工艺室组成，放卷室和收卷室分别位于设备的首末两端，放卷室和收卷室分别与一个张力控制室连接，放卷室一端的张力控制室连接有预处理室，预处理室和收卷室一端的张力控制室之间设置有至少一个工艺室，上述的放卷室、收卷室的一端及张力控制室、预处理室、工艺室的两端均设置有相同规格的法兰盘，并通过法兰盘依次连接上述放卷室、收卷室、张力控制室、预处理室、工艺室为一体，所述的放卷室、张力控制室、预处理室、工艺室、收卷室均为真空室，所述的放卷室、张力控制室、预处理室、工艺室、收卷室中均设有传输使用的辊。

所述的放卷室中设置有低温吸附阱，一般低温吸附阱设置为-120℃深冷阱，其中部设置有放置被镀膜带材的辊、放卷室内腔与真空系统如扩散泵等真空泵连接。

所述的收卷室同样设有放置带材的收卷辊，收卷室内腔与真空系统如扩散泵等真空泵连接。

所述的两个张力控制室中内腔连接有真空系统如扩散泵等真空泵，且其内腔中水平设置有由三个辊构成的三角形张力控制装置。

所述的预处理室中设置有离子源，其空腔中连接真空系统如分子泵等真空泵。

所述的工艺室中设置有一组中频靶，其中设置有三个辊，中频靶围绕中部的主辊布置，以便做磁控溅射时靶材材料均匀溅射到待镀的材料带材表面，中部的主辊是水冷辊，便于通过水冷调节镀膜工艺所需要的稳定温度，工艺室分为上下两个腔体，用隔离板隔开，分别连接单独的真空系统(如分子泵系统)，分别抽真空，并且控制不同的真空度，防止上下室的反应气体相串，所述的一组中频靶主要是根据产品工艺进行调整，如果需要镀制的膜层的厚度薄，那么只使用一个中频靶就可以满足镀制工艺的要求，如果镀制的膜层的厚度较厚，则需要设置两个三个甚至更多的中频靶。