[实用新型]电容压力传感器

说明书

技术领域

本发明涉及压力传感器，具体说是一种电容压力传感器。

背景技术

我们知道，现有的电容压力传感器，如国家知识产权局2004年12月19日公开的名称为硅电容压力传感器，专利申请号为03284809.9的实用新型专利，是在底板上设有两个固定极板，固定极板之间设有可动极板，两个固定极板与可动极板封接成两个电容腔，两个电容腔内固定极板与可动极板相对的四个面上分别设有金属电极，形成两个电容。这种电容压力传感器，由于两个电容腔内固定极板与可动极板相对的四个面上分别设有金属电极，形成两个电容，当压力超过传感器可允许的压力时，导致电极间相互接触，造成短路，或者由于制造时留在电极之间而没有发现的材料颗粒造成短路。又如国家专利局1996年7月24日公开的名称为电容压力传感器或压差传感器，专利申请号为95103518.5的发明专利，是在底板上设有金属电极，金属电极上设有隔离层，隔离层上设有可动极板，隔离层将可动电极及底板隔开一定距离，形成电容腔，可动电极上电容腔一侧设有金属电极。这种压力传感器由于在底板上设有金属电极，金属电极上设有隔离层，隔离层上设有可动极板，隔离层将可动电极及底板隔开一定距离，形成电容腔，可动电极上电容腔一侧设有金属电极，制造工艺复杂，制造成本高，价格昂贵。

发明内容

本发明解决的技术问题是，解决传感器电容两电极间容易短路和传感器制造工艺复杂，制造成本高，价格昂贵的问题，提供一种电容两电极间不能发生短路，制造工艺简单，制造成本低，价格低廉的电容压力传感器。

本发明的技术方案是，设有底座，底座上方设有可动极板，可动极板与底座之间形成加压腔，底座上设有与加压腔连通的加压口，可动极板上方设有固定极板，固定极板与可动极板之间形成电容腔，可动极板在电容腔内表面上设有可动金属电极，可动金属电极上设有金属引线，金属引线上设有焊点，主要结构特点是，固定极板在电容腔外表面上设有固定金属电极，固定金属电极上设有金属引线，金属引线上设有焊点。

本发明固定极板内外表面上设有二氧化硅层。

本发明固定极板与可动极板上分别设有金属引线凹槽通道，固定极板与可动极板上的金属引线凹槽通道内，分别设有固定金属电极的金属引线和可动金属电极的金属引线。

本发明固定极板与可动极板上的金属引线凹槽通道位置相错。

本发明可动极板在加压腔内表面上设有可动金属电极，可动金属电极上设有金属引线，金属引线上设有焊点，底座在加压腔外表面上设有固定金属电极，固定金属电极上设有金属引线，金属引线上设有焊点。

本发明底座与可动极板上分别设有金属引线凹槽通道，底座与可动极板上的金属引线凹槽通道内，分别设有固定金属电极的金属引线和可动金属电极的金属引线。

本发明底座与可动极板上的金属引线凹槽通道位置相错。

本发明的有益效果是，由于可动极板在电容腔内的表面上设有可动金属电极，固定极板在电容腔外表面上设有固定金属电极，可动金属电极与固定金属电极之间有固定极板相阻隔，不能发生短路，制造工艺简单，制造成本低，价格低廉；由于固定极板内外表面上设有二氧化硅层，线性度高，温度特性好。本发明适用于各种压力传感器。

附图说明

图1、图2、图3、图4是本发明的一种结构示意图，也是一种实施例的示意图；图1是主视图，图2是图1的俯视图，图3是图1的左视图，图4是可动极板的俯视图；

图2、图4、图5、图6、图7、图8是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意图；图5是主视图，图2是图5的俯视图，图4是图5的可动极板的俯视图，图6是图5的仰视图，图7是图5的左视图，图8是图5的可动极板的仰视图；

图2、图6、图7、图8、图9、图10是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意图；图9是主视图，图2是图9的可动极板的俯视图，图6是图9的仰视图，图7是图9左视图，图8是图9的可动极板的仰视图，图10是图9的俯视图。

实施方式

实施例1