[实用新型]一种氢化炉无效

专利信息
申请号: 200820223356.1 申请日: 2008-12-12
公开(公告)号: CN201424377Y 公开(公告)日: 2010-03-17
发明(设计)人: 张惠国;蒲晓东;赵兴华;刘勇;毛庆;朱建军 申请(专利权)人: 四川新光硅业科技有限责任公司;四川新光多晶硅工程技术有限公司
主分类号: C01B33/021 分类号: C01B33/021
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 代理人: 林辉轮;熊晓果
地址: 614000四*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 氢化
【权利要求书】:

1、一种氢化炉,其特征在于,包括炉筒(1)、底盘(2)、电极组件(3)、加热器(4)、保温罩(5)、设备支撑架(6)、出气口(8)和混合气进口(9);其中炉筒(1)与底盘(2)连接在一起;炉筒(1)内部有加热器(4)和保温罩5;加热器(4)固定在电极组件(3)上,加热器(4)位于保温罩(5)内部,电极组件(3)通过底盘上的电极座安装在底盘(2)上,底盘(2)和电极组件(3)是绝缘的;保温罩(5)直接放置在底盘(2)上,水冷高温出气口(8)焊接在底盘(2)上,在炉筒(1)上有混合气进口(9)。

2、如权利要求1所述的氢化炉,其特征在于:所述底盘(2)包括上板(11)、下板(12)、中间法兰环(13)、水腔(14)和绝缘件(15),上板(11)、下板(12)和中间法兰环(13)焊接在一起,上板(11)、下板(12)与中间法兰环(13)形成水腔(14),绝缘件(15)位于底盘(2)和电极组件(3)之间。

3、如权利要求1所述的氢化炉,其特征在于:氢化炉进一步包括水冷视镜(7),其由透明石英镜片制成,水冷视镜(7)处通过目测或仪器对内部反应情况进行监测。

4、如权利要求1所述的氢化炉,其特征在于:所述加热器(4)沿圆周向、射线向布置。

5、如权利要求1所述的氢化炉,其特征在于:所述加热器(4)为碳碳复合材料U型加热器。

6、如权利要求1所述的氢化炉,其特征在于:所述电极组件(3)外表面安装有弹性补偿装置(16)。

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