[实用新型]真空蒸镀机加磁基片固定装置

说明书

技术领域

本实用新型属于光学薄膜制造设备的部件，具体地说是一种真空蒸镀机加磁基片固定装置。

背景技术

由于真空蒸镀镀膜机钟罩内没有加磁场的装置，所以用它蒸镀出的薄膜是各向同性的。目前，随着社会的需要和传感技术的发展，需要各向异性的薄膜(如具有巨磁阻抗效应的薄膜)，而当前企业或科研单位拥有的大多是真空蒸镀镀膜机(因磁溅射镀膜机价格昂贵)，有许多人仅为制作出各向异性的薄膜去购置价格昂贵的磁溅射镀膜机。本实用新型是对价格低廉的真空蒸镀镀膜机作简单的改造，根据蒸镀时的不同进程外加不同强度的磁场可蒸镀出各向异性的薄膜(具有巨磁阻抗效应的薄膜)。从而大大降低生产这类薄膜的成本。鉴于目前这类膜具有独特的巨磁阻抗效应，利用这类薄膜制作新型的性能独特的传感器前景广阔，生产这类薄膜成本的降低对该类传感器的推广和应用有着极为重要的意义。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空蒸镀机中附加磁性块和固定待镀基片的固定装置。

实现本实用新型目的的装置结构是这样的：它是个至少一端开口的柱状匣体，其两侧壁上设有与真空蒸镀机相连接的凸块，匣体的下侧内壁设有搁放基片的平面，相对应处开设有露出基片蒸镀面的开孔；而匣体空腔可以是分隔成并排三个的，露出基片蒸镀面的开孔位于中间的空腔中；还有该匣体空腔左右两侧或匣体左右两侧空腔内也还可以设有磁性块，搁放基片的平面和露出基片蒸镀面的开孔被设置在两磁性块中间的。

本实用新型的真空蒸镀机加磁基片固定装置，结合了工艺需要和真空蒸镀机内腔的结构条件，采用水平设置加设磁场的形式，具有结构简单，使用可靠，本体和磁性块拆卸固定容易的特点。

附图说明

图1是本实用新型真空蒸镀机加磁基片固定装置的实施例一的主视图

图2是本实用新型真空蒸镀机加磁基片固定装置的实施例一的俯视图

图3是本实用新型真空蒸镀机加磁基片固定装置的实施例一的左视图

图4是本实用新型真空蒸镀机加磁基片固定装置的实施例二的主视图

图5是本实用新型真空蒸镀机加磁基片固定装置的实施例二的俯视图

图6是本实用新型真空蒸镀机加磁基片固定装置的实施例二的左视图

具体实施方式

下面对照附图，通过实施例对本实用新型作进一步的说明。下述实施例仅用于说明本实用新型的技术方案，但对本实用新型并没有限制。

实施例一

如图1至图3中所示，本实用新型的真空蒸镀机加磁基片固定装置结构是这样的：它的两端贯通中空，柱状匣体1的两侧壁上设有与真空蒸镀机相连接的长条状凸块2，柱状匣体1的下侧内壁设有平面3用于搁放基片，相对应处开设有露出基片蒸镀面的开孔4，由图中可知，柱状匣体1的空腔是分隔成并排三个的，露出基片蒸镀面的开孔4位于中间的空腔中，分隔空腔的隔板6上设有与基片长度相匹配的窗孔7，在柱状匣体1左右两侧空腔内也还可以设有磁性块5，搁放基片的平面和露出基片蒸镀面的开孔4被设置在两磁性块5中间的。

实施例二

如图4至图6中所示，本实用新型的真空蒸镀机加磁基片固定装置结构是这样的：它的两端贯通中空，柱状匣体1的两侧壁上设有与真空蒸镀机相连接的长条状凸块2，柱状匣体1的下侧内壁设有平面3用于搁放基片，相对应处开设有露出基片蒸镀面的开孔4，由图中可知，柱状匣体1的空腔截面是倒过来的“凹”形，搁放基片的平面3部分位于空腔的中间，柱状匣体1空腔左右两侧下凹形成的槽恰好用于磁性块5的限位。