[实用新型]化学品供应泵的泄漏检测系统有效
申请号: | 200820154498.7 | 申请日: | 2008-10-27 |
公开(公告)号: | CN201322679Y | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 朱飚 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01M3/38 | 分类号: | G01M3/38 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 化学品 供应 泄漏 检测 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种检测系统,特别是涉及一种化学品供应泵的泄漏检测系统。
背景技术
在半导体等工业领域里,常常需要大量使用化学物品,因而需要用到许多化学品供应泵来提供化学品,然而,大多数化学物质具有腐蚀性或者毒性,并且易燃易爆,在实际的生产活动中,由于人为操作失误或者设备老化等原因,难免会引起化学品泄漏的潜在可能性,如果不能及时发现或者监测到泄漏情况,后果将不堪设想,因此,检测在工业使用上的化学物质是否泄漏显得尤其重要,目前已经开发有许多基于传感器的用于检测化学品供应泵内化学物质是否泄漏的检测系统,但这类用于检测泵内化学品泄漏的传感器都为精密的电子产品,结构复杂,不能与化学品直接接触,通常都是通过间接方式对化学品进行监测,一旦泵内出现泄漏时难以直接快速发现问题。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种化学品供应泵的泄漏检测系统,该泄漏检测系统可直接与待检测的化学品接触,从而可快速检测出泄漏的化学品。
为解决以上技术问题,本实用新型提供一种化学品供应泵的泄漏检测系统,包括主体、光电转换器和连接在所述主体上的光纤固定架,所述光电转换器上的光发射极连接有第一光纤,所述光电转换器上的光接收极连接有第二光纤,所述主体设有连接所述化学品供应泵的通道,所述通道内设有可在所述通道内运动的浮动体;所述第一光纤的另一端和所述第二光纤的另一端对称设置在所述光纤固定架上。
所述光电转换器上还连接有一输出系统,所述输出系统为一监控器或者警示系统。
所述光电转换器上还连接有为所述光电转换器供电的电源单元。
所述主体以可拆卸方式固定在所述化学品供应泵本体上。
所述主体和所述浮动体材质采用耐腐蚀材料制成。
与现有技术相比,本实用新型的供应泵泄漏的检测系统,通过在主体上设置有放置浮动体的通道和光纤,使得当泄漏发生时,浮动体阻挡光发射而使信号发生变化,从而能快速方便地检测到化学品的泄漏,结构简单,使用方便,同时无需复杂的检测设备,降低成本,可广泛应用在各种溶剂性化学品和非溶剂性化学品供应泵上。可广泛应用在各种具有防爆要求的溶剂性化学品和非溶剂性的化学品供应泵上。
附图说明
图1为本实用新型的系统示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的技术特征更明显易懂,下面结合附图与实施例,对本实用新型做进一步的描述。
请参阅图1所示,一种化学品供应泵的泄漏检测系统,包括主体1和光电转换器3和连接在所述主体1上的光纤固定架6,所述主体1和所述光电转换器3之间设有一光纤组2,所述光电转换器3内设有光发射极(未标示)和光接收极(未标示),所述光发射极为红外线发射极,所述光电转换器3的作用就是将红外线光信号转换为电信号输出给外部的输出系统8,所述输出系统8为一监控器或者警示系统。当光信号被中断或者阻挡时,所述光电转换器3输出高电平,反之则输出低电平。所述光电转换器3上的光发射极上连接有第一光纤20,所述光电转换器3上的光接收极连接有第二光纤21,所述主体1上设有一连接所述化学品供应泵(未标出)的通道4,所述通道4内设有一可在所述通道4内运动的浮动体5,所述浮动体5的大小和形状可根据放置所述浮动体5的所述通道4的形状和结构来设计,以便可以在所述通道4内运动。连接在所述主体1上的所述光纤固定架6上对称设有两孔(未标示),所述第一光纤20的另一端和所述第二光纤21的另一端可以任意固定在此两孔上。
所述光电转换器3上连接有一电源单元7,所述电源单元7可以对所述光电转换器3提供电源。
连接在所述主体1上的光纤固定架6可根据需要将其固定在所述通道4上,固定的位置可以调节,为了可以及时检测到化学泄漏,可以将所述光纤固定架6固定在距离浮动体5比较近的上方位置。
考虑到所述主体1和所述浮动体5接触到各种腐蚀性化学品,所述主体1和所述浮动体5的材质采用具有耐腐蚀性材质如PFA(可溶性聚四氟乙烯),PVDF(聚偏氟乙烯膜),PTFE(聚四氟乙烯)等制成。
进一步地,为了方便使用,根据不同的泵体的结构和形状,所述主体1可以灵活地以可拆卸的方式固定在所述化学品供应泵相应位置上,从而便于拆装,本实施例中,可以在所述化学供应泵的下方靠近化学品处钻有螺纹孔,以螺纹连接的方式将所述主体1固定在所述化学供应泵上。
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