[发明专利]镀膜用旋转溅射阴极装置

权利要求书

1.镀膜用旋转溅射阴极装置，其特征在于：包括：安装在阴极圆管上的圆 管状靶材，阴极圆管的两端分别连接有一个支承座，其中一个支承座绝缘地活 动支承在机架上，该支承座上设置有驱动轮和电刷，电源通过电刷和该支承座 传导连接到阴极圆管上；在阴极圆管内部还绝缘支承有中心支承管，中心支承 管的底部设置有磁芯元件；另一个支承座活动支承在绝缘套内，绝缘套安装在 机架上；中心支承管与绝缘套、支承座及阴极圆管之间构成一个密闭的空腔， 绝缘套内壁上设置有密封凸块与中心支承管密封接触，位于密封凸块外侧的中 心支承管的端部设置有通孔，中心支承管的内腔通过该通孔及绝缘套上的通孔 与安装在机架上的进水管相通，密封凸块另一侧的空腔通过绝缘套上的出水通 孔与安装在机架上的出水管相通，在中心支承管的另一端设置有出水孔，空腔 通过该出水孔与中心支承管的内腔相通。

2.按照权利要求1所述的镀膜用旋转溅射阴极装置，其特征在于：在中心 支承管上还设置有若干个导流叶片。

3.按照权利要求1或2所述的镀膜用旋转溅射阴极装置，其特征在于：所 述的磁芯元件安装在磁芯安装座中，磁芯安装座通过固定扣件安装在中心支承 管上。

4.按照权利要求1或2所述的镀膜用旋转溅射阴极装置，其特征在于：在 磁芯元件与阴极圆管之间还设置有若干个支撑滚轮。

5.按照权利要求1或2所述的镀膜用旋转溅射阴极装置，其特征在于：所 述的磁芯元件的中间为N极，两侧布置着S极。