[发明专利]解析版图设计的方法有效

专利信息
申请号: 200810205389.8 申请日: 2008-12-31
公开(公告)号: CN101770529A 公开(公告)日: 2010-07-07
发明(设计)人: 游桂美 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李丽
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 解析 版图 设计 方法
【权利要求书】:

1.一种解析版图设计的方法,其特征在于,包括:

获得版图设计文件后,进行图形预检来检测版图设计文件是否存在使得 解析工具生成多种刻线图形的版图设计;

若不存在使得解析工具生成多种刻线图形的版图设计,则进行图形计算 获得刻线图形;

将所述刻线图形转变成可以为制造光罩的机器识别的文件格式;

所述图形预检包括:

以路径计算的第一种计算方式进行图形计算获得第一刻线图形,以路径 计算的第二种计算方式进行图形计算获得第二刻线图形,或者,以封闭区间 计算的第一种计算方式进行图形计算获得第一刻线图形,以封闭区间计算的 第二种计算方式进行图形计算获得第二刻线图形;

比较第一刻线图形和第二刻线图形;

若第一刻线图形和第二刻线图形相同,则所述版图设计文件中不存在使 得解析工具生成多种刻线图形的版图设计;

若第一刻线图形和第二刻线图形不相同,则所述版图设计文件中存在使 得解析工具生成多种刻线图形的版图设计。

2.如权利要求1所述的解析版图设计的方法,其特征在于,还包括:

若存在使得解析工具生成多种刻线图形的版图设计,则生成提醒信息。

3.如权利要求1所述的解析版图设计的方法,其特征在于,还包括:

给出第一刻线图形和第二刻线图形的差异部分。

4.如权利要求1所述的解析版图设计的方法,其特征在于,所述比较第一刻 线图形和第二刻线图形包括:对第一刻线图形和第二刻线图形进行异或计算。

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