[发明专利]解析版图设计的方法有效
| 申请号: | 200810205389.8 | 申请日: | 2008-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN101770529A | 公开(公告)日: | 2010-07-07 |
| 发明(设计)人: | 游桂美 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李丽 |
| 地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 解析 版图 设计 方法 | ||
1.一种解析版图设计的方法,其特征在于,包括:
获得版图设计文件后,进行图形预检来检测版图设计文件是否存在使得 解析工具生成多种刻线图形的版图设计;
若不存在使得解析工具生成多种刻线图形的版图设计,则进行图形计算 获得刻线图形;
将所述刻线图形转变成可以为制造光罩的机器识别的文件格式;
所述图形预检包括:
以路径计算的第一种计算方式进行图形计算获得第一刻线图形,以路径 计算的第二种计算方式进行图形计算获得第二刻线图形,或者,以封闭区间 计算的第一种计算方式进行图形计算获得第一刻线图形,以封闭区间计算的 第二种计算方式进行图形计算获得第二刻线图形;
比较第一刻线图形和第二刻线图形;
若第一刻线图形和第二刻线图形相同,则所述版图设计文件中不存在使 得解析工具生成多种刻线图形的版图设计;
若第一刻线图形和第二刻线图形不相同,则所述版图设计文件中存在使 得解析工具生成多种刻线图形的版图设计。
2.如权利要求1所述的解析版图设计的方法,其特征在于,还包括:
若存在使得解析工具生成多种刻线图形的版图设计,则生成提醒信息。
3.如权利要求1所述的解析版图设计的方法,其特征在于,还包括:
给出第一刻线图形和第二刻线图形的差异部分。
4.如权利要求1所述的解析版图设计的方法,其特征在于,所述比较第一刻 线图形和第二刻线图形包括:对第一刻线图形和第二刻线图形进行异或计算。
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