[发明专利]检查装置及检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，对检查对象物进行检查，其特征在于，

具有：检查单元，对检查对象物进行检查；

搬入单元，载置将要搬入上述检查单元的检查对象物；

搬出单元，载置从上述检查单元搬出的检查对象物；和

输送单元，在上述搬入单元与上述检查单元之间、以及上述搬出单元与上述检查单元之间输送检查对象物，

上述输送单元具有能够同时进行如下过程的结构：

将载置于上述搬入单元的检查对象物向上述检查单元输送的过程、以及将载置于上述检查单元的检查对象物向上述搬出单元输送的过程。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

上述检查单元具有：

多个载置台，载置检查对象物，并且能够在与上述搬入单元和上述搬出单元交接检查对象物的初始位置、对检查对象物进行拍摄的检查位置、使检查对象物翻转的翻转位置之间移动；

摄影部件，对移动到上述检查位置的检查对象物进行拍摄；

影像处理器，接收由上述摄影部件拍摄的图像，根据上述图像辩读检查对象物是否不合格；和

翻转部件，使移动到上述翻转位置的检查对象物翻转。

3.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

上述输送单元具有：

旋转体，配置在上述搬入单元、上述搬出单元和移动到上述初始位置的上述载置台之间且能够旋转；

第1臂，从上述旋转体延长且能够保持检查对象物；和

第2臂，从上述旋转体以与上述第1臂垂直的方式延长，能够保持检查对象物。

4.如权利要求2或3所述的检查装置，其特征在于，

上述检查位置包括第1检查位置和第2检查位置，

上述初始位置、上述第1检查位置、上述翻转位置以及上述第2检查位置配置为，各个上述载置台通过旋转能依次地移动到上述初始位置、上述第1检查位置、上述翻转位置、上述第2检查位置以及上述初始位置。

5.如权利要求2或3所述的检查装置，其特征在于，

上述检查单元还包括可旋转的基座，该基座具有从上面看为正方形的形状，

上述载置台以与上述基座一起旋转的方式设置于上述基座的各边，

在上述基座的第1侧以及与其相对的第2侧分别配置有上述摄影部件，

在与上述第1侧及上述第2侧垂直的上述基座的第3侧配置有上述翻转部件，

在上述基座的与上述第3侧相对并与上述搬入单元以及上述搬出单元邻接的第4侧配置有上述输送单元。

6.如权利要求3所述的检查装置，其特征在于，

在上述第1臂和第2臂的下面上设有对检查对象物进行真空保持的真空孔。

7.如权利要求2或3所述的检查装置，其特征在于，

上述翻转部件包括：

对检查对象物进行保持的指部；

旋转驱动器，使上述指部旋转以使检查对象物翻转；

垂直驱动器，使上述指部沿上下方向移动；和

水平驱动器，使上述指部沿前后方向移动，

在各个上述载置台的上面形成有能够插入上述指部的槽。

8.如权利要求7所述的检查装置，其特征在于，

上述指部相互并排地设置多个，

上述指部与连结部件结合，

上述旋转单元包括与上述连结部件固定的旋转轴，

上述槽与上述各个指部对应地形成。

9.如权利要求1至3中任意一项所述的检查装置，其特征在于，

上述搬入单元包括：

直线移动检查对象物的搬运台；和

异物除去部件，设置在上述搬运台上，将检查对象物上附着的异物除去。

10.如权利要求9所述的检查装置，其特征在于，

上述搬运台具有间隔规定距离并支承检查对象物的两侧周缘部的传送带，

上述异物除去部件包括：

第1辊，配置为与载置于上述传送带上的检查对象物的上面接触，并且在外侧面上有粘接剂；和

第2辊，配置为与载置于上述传送带上的检查对象物的下面接触，并且在外侧面上有粘接剂。