[发明专利]制造平板显示器的系统有效
| 申请号： | 200810089139.2 | 申请日： | 2006-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN101308774A | 公开（公告）日： | 2008-11-19 |
| 发明（设计）人： | 李荣钟;崔浚泳;韩明宇;金允基;权孝重;曺生贤;金银石;崔银烈 | 申请（专利权）人： | 爱德牌工程有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 平板 显示器 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种平板显示器的制造系统，包括：
衬底供给线，所述衬底供给线线性地设置成沿预定方向连续地移动衬底；
第一加工模块，所述第一加工模块设置在所述衬底供给线的一侧处并且具有第一供给腔和连接至所述第一供给腔的多个加工腔；以及
第二加工模块，所述第二加工模块设置在所述衬底供给线的另一侧处并且具有第二供给腔和连接至所述第二供给腔的多个加工腔；
载荷锁定腔，所述载荷锁定腔连接至所述第一供给腔和所述第二供给腔；
其中，所述第一供给腔和所述第二供给腔适于分别从所述载荷锁定腔接收所述衬底并分别经由所述载荷锁定腔将完成加工的所述衬底排出。
2.如权利要求1所述的平板显示器的制造系统，其中，所述载荷锁定腔包括通过转动垂直于所述预定方向传送所述衬底的传送带。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
