[发明专利]检查方法和记录有检查方法的程序记录介质

权利要求书

1.一种检查方法，在检查装置的能够移动的载置台上载置被检查 体，通过内置于载置台的温度调节器将所述被检查体设定为目标温度， 并进行所述被检查体的电特性检查，其特征在于，包括：

根据预先登记的所述被检查体的物性数据和容积数据，计算将所 述被检查体从向所述载置台的载置前的温度加热或冷却至所述目标温 度所必需的热量作为加法控制量的工序；和

在将所述被检查体载置于所述载置台之前，通过所述温度调节器 对设定为所述目标温度的所述载置台施加所述热量，加法控制所述载 置台的工序，

该检查方法还具有在将所述被检查体载置于所述载置台之后，根 据所述载置台的检测温度和所述目标温度控制所述载置台的温度的工 序。

2.一种检查方法，在检查装置的能够移动的载置台上载置被检查 体，通过内置于载置台的温度调节器将所述被检查体设定为目标温度， 并进行所述被检查体的电特性检查，其特征在于：

在进行最初的被检查体的检查时，包括：

根据预先登记的所述被检查体的物性数据和容积数据，计算将所 述被检查体从向所述载置台的载置前的温度加热或冷却至所述目标温 度所必需的第一热量作为第一加法控制量的工序；和

在将所述被检查体载置于所述载置台之前，通过所述温度调节器 对设定为所述目标温度的所述载置台施加所述第一热量，进行对所述 载置台的第一加法控制的工序，

此外，在进行第二次以后的被检查体的检查时，包括：

根据从之前紧接的被检查体得到的实测容积数据和从所述第一加 法控制时的所述载置台得到的温度分布，计算用于加热或冷却所述被 检查体所必需的第二热量作为第二加法控制量的工序；和

在将所述第二次以后的被检查体载置于所述载置台之前，通过所 述温度调节器对设定为所述目标温度的所述载置台施加所述第二热 量，进行对所述载置台的第二加法控制的工序，

该检查方法还具有在将所述被检查体载置于所述载置台之后，根 据所述载置台的检测温度和所述目标温度控制所述载置台的温度的工 序。

3.如权利要求2所述的检查方法，其特征在于：

所述之前紧接的被检查体的实测容量数据是使用进行所述之前紧 接的被检查体的对准所得到的所述被检查体的平面尺寸和厚度求取 的。

4.如权利要求2或权利要求3所述的检查方法，其特征在于：

所述温度分布在所述第一加法控制时从所述载置台反馈。