[发明专利]用于紫外探测的有机－无机有序复合器件的制备方法

权利要求书

1.一种用于紫外探测的有机-无机有序复合器件的制备方法，其特征在于包括如下步骤：

1)纯度为95～99.8％的高纯金属片或沉积有95～99.8％的高纯金属的基底依次用丙酮、异丙醇、甲醇超声洗涤1～20分钟后，用去离子水漂洗并烘干，再对其进行化学抛光，获得基底电极；

2)以铂片作为阴极，基底电极作为阳极，在电解液中，对阳极进行氧化，电压为2～30伏，时间为5～120分钟，用去离子水冲洗后，置于180～680℃空气或氧气环境中热处理3-9小时后自然降温，取出，获得管状金属氧化物阵列；

3)在管状金属氧化物阵列上涂覆一层厚度为2nm～200nm的有机层；

4)在有机层上涂覆一层厚度为2～60nm的电极层。

2.根据权利要求1所述的一种用于紫外探测的有机-无机有序复合器件的制备方法，其特征在于所述高纯金属片为钛、锌、镍、镁、铝或锡。

3.根据权利要求1所述的一种用于紫外探测的有机-无机有序复合器件的制备方法，其特征在于所述的基底为普通玻璃、导电玻璃、硅片或高分子树脂，高纯金属采用真空蒸镀或磁控溅射方法沉积在基底上，厚度为1μm～100μm。

4.根据权利要求1所述的一种用于紫外探测的有机-无机有序复合器件的制备方法，其特征在于所述的电解液是硫酸、醋酸、盐酸、磷酸、氟化钾水溶液、氟化钠水溶液、硫酸氢钠水溶液中的一种或几种的混合物，电解液pH值为1～6.5。

5.根据权利要求1所述的一种用于紫外探测的有机-无机有序复合器件的制备方法，其特征在于所述的管状金属氧化物阵列的管长为0.02μm～10μm、管径为10nm～120nm。

6.根据权利要求1所述的一种用于紫外探测的有机-无机有序复合器件的制备方法，其特征在于所述的有机层为三苯胺、烷基取代三苯胺、苯腙、萘苯腙、四苯基联苯胺、烷基取代四苯基联苯胺、聚乙烯基咔唑、联吡啶、吡唑啉、聚苯撑乙烯或烷基取代聚苯撑乙烯。

7.根据权利要求1所述的一种用于紫外探测的有机-无机有序复合器件的制备方法，其特征在于电极层为金、银、铝、镁、钙、铂或碳胶。

8.根据权利要求1所述的一种用于紫外探测的有机-无机有序复合器件的制备方法，其特征在于有机层的涂覆方法为溶液旋涂、浸涂或真空蒸镀。

9.根据权利要求1所述的一种用于紫外探测的有机-无机有序复合器件的制备方法，其特征在于电极层的涂覆方法为磁控溅射、真空蒸镀或刷涂。