[发明专利]利用真空蒸发在玻璃基片上制备蓝色铝膜的方法

权利要求书

1.利用真空蒸发在玻璃基片上制备蓝色铝膜的方法，包括以下步骤：在真空蒸发镀膜前首先用去离子水洗净玻璃基片和铝丝，钨丝，安装钨篮和玻璃基片，然后抽真空，真空蒸发镀膜；其特征在于：在镀膜前使用烘烤灯加热基片，使其温度达到400℃以上；在镀膜后采用退火工艺，退火炉在99.99％高纯Ar气保护下，在退火炉中将薄膜以每分钟升高20度的速度缓慢加热到400度以上，保持一个小时，然后缓慢冷却。

2.根据权利要求1所述的利用真空蒸发在玻璃基片上制备蓝色铝膜的方法，其特征在于：所述的对玻璃基片的清洗：清洗药剂由5％的重铬钾饱和水和95％的浓硫酸混合而成；铝丝的清洗采用盐酸分析纯；采用超声清洗；超声清洗的功率：600W-900W；超声清洗的频率：28kHZ-40kHZ；后采用缓慢提拉脱水，循环风烘干：温度95摄氏度-110摄氏度。

3.根据权利要求1所述的利用真空蒸发在玻璃基片上制备蓝色铝膜的方法，其特征在于：所述的对钨丝的清洗：先用自来水冲洗表面的灰尘，再放入浓度为10％-20％的氢氧化钠溶液中煮10分钟左右除去表面的氧化物和油迹，直到钨丝表面发亮为止，后用自来水冲洗，去离子水漂洗，烘干备用。

4.根据权利要求1所述的利用真空蒸发在玻璃基片上制备蓝色铝膜的方法，其特征在于：所述的真空蒸发镀膜：在蒸发前将放于钨篮中的铝箔预熔，同时打开烘烤灯，对玻璃基片加热10分钟，使基片温度达到400度以上；当真空度达到5×10^-3Pa以上，迅速升温而快速蒸发，蒸发温度：1300℃～1400℃，直到将材料全部蒸发光。