[发明专利]一种抓手角度可调的夹取装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种夹取装置，尤其涉及一种抓手角度可调的夹取装置。

背景技术

高精密光刻机设备中，工件台所使用的精密对准光学器件形状为多边形，不同系列的器件的边角度一般不同，它们由石英玻璃制成，放置在比光学器件尺寸稍大的凹槽内，并通过光学器件底面上的磁石吸附固定在工件台上。这些精密光学器件在安装拆卸或者运输取放时，应当充分考虑如下问题：

第一，精密光学器件表面不能接触，光学器件的边与凹槽之间的空隙不大，设计的装置应能方便的与器件的边角对齐，同时夹持光学器件的几条边，才能将光学器件安全夹取；

第二，光学器件是石英玻璃制成，且光学器件被磁石吸附固定，当夹取时受到较大的夹取力容易破坏，因此设计的装置能在夹取力异常时，保护光学器件受到破坏；

第三，当光学器件的斜边角度不同时，设计的装置能够调整夹取的角度，保证安全的夹持住光学器件，具有一定的通用性。

现有技术中多采用特制镊子(夹钳)或者真空吸附的方式，来夹取或者吸附被夹取器件，但特制的镊子或者夹钳一般只有两只钳子，对于多边形的光学器件夹钳的张角会很大，很难夹持稳定，且没有夹持力过大时的保护措施。

已经公开的专利号为CN97122548.6的专利采用抓手尖端部位的真空压力通道装置向精密的晶片正面的边缘施加真空压力，从而抓住晶片，由于吸附在凹槽内的精密光学器件表面是不能接触的，真空吸附器件表面将损害光学器件，采用真空吸附，真空压力装置势必让开发的夹取装置比较复杂，不利于在特定的空间范围内操作。

发明内容

本发明为解决现有技术中的夹取装置在夹取光学器件时容易损坏光学器件的缺点，提供了一种抓手角度可调的夹取装置。

一种抓手角度可调的夹取装置，包括，基板、站立腿、抓手、偏心提升机构、夹紧机构和角度调整机构，其中所述的抓手、偏心提升机构和角度提升机构均固定在基板上，所述的抓手与偏心提升机构相连，所述的角度调整机构和夹紧机构均安装在抓手上，所述的站立腿也安装在基板上并支撑基板。

其中所述的站立腿包括，压缩弹簧、立柱和滑动轴，其中所述弹簧与滑动轴相连，弹簧和滑动轴均位于立柱的内部，当所述基板下压时，立柱沿着滑动轴移动，弹簧被压缩。

其中所述的偏心提升机构包括手柄和偏心轮，所述偏心轮通过所述手柄来转动。

其中所述的夹紧机构是夹紧螺钉或三爪卡盘机构。

其中该装置还包括位于抓手上的限位块，所述的角度调整机构的极限旋转角度由限位块决定。

其中所述的抓手有三个，每一个抓手只有一个钳子；或者两个抓手有一个钳子，第三个抓手有两个钳子，所述的钳子的内侧安装有橡胶块。

其中所述的站立腿的底部安装有吸盘，所述的基板上包括粘贴有对准标记的预对准标记孔。

一种利用抓手角度可调的夹取装置从工件台内取出光学器件的方法，包括，

1)、首先旋松每个抓手的夹紧螺钉，张开抓手；

2)、压下手柄转动偏心轮，让抓手处于高位；

3)、将站立腿站立在工件台上，通过基板上的预对准标记，调整抓手角度装置让对准标记对准器件的三个角；

4)、用手向下压装置的基板，站立腿里的弹簧缩短，调整并确保三个抓手平稳的伸入到光学器件的每条边和工件台凹槽的空隙里，抓手不能接触到被取光学器件的表面，当光学器件的边角度不同时，旋松每个抓手的角度调整机构的锁紧螺钉，调整每个抓手与器件的边平行，然后用锁紧螺钉锁紧；

5)、保持站立腿与基板不动，抬起手柄慢慢使抓手处于低位，确保每个抓手准确接触住光学器件的每条边；

6)、旋动每个抓手的夹紧螺钉，锁紧抓手，确保抓手紧紧夹住光学器件，否则磁力可能会吸回光学器件，损坏器件；

7)、压下手柄，转动偏心轮，让抓手慢慢返回高位，抓手抓起光学器件，如果光学器件被紧吸附在工件台上，站立腿的弹簧在偏心轮的压力下会继续压缩，防止光学器件被破坏；

8)、松开压紧的站立腿，把光学器件从凹槽内取出；

9)、移动本装置，光学器件被从工件台内取出，移动到放置光学器件的容器上。

一种利用抓手角度可调的夹取装置将抓手夹住的光学器件放到储藏运输光学器件包装箱内的方法，包括，

1)、将站立腿站在包装箱的角上；

2)、确保光学器件和包装箱内的凹槽对齐；

3)、用手向下压基板，让站立腿压缩，并确保光学器件和凹槽对齐；

4)、保持站立腿与基板不动，抬起手柄，让抓手夹住的光学器件慢慢降低在低位；