[发明专利]IV族纳米粒子及其膜

权利要求书

1.一种制备包含IV族纳米粒子的膜的方法，该方法包括以下步 骤：

将IV族前体气体引入具有反应区的等离子体反应器；

点燃所述反应区内的射频等离子体；

生成一组基本上球形的纳米粒子，其中所述基本上球形的纳米粒 子组的每个纳米粒子具有4nm至100nm的直径；

将所述基本上球形的纳米粒子组悬浮于油墨中；

将所述油墨沉积在基底上；和

将所述纳米粒子组烧结以形成致密化层；

由此形成所述膜。

2.权利要求1的方法，其中所述IV族纳米粒子组的每个纳米粒子 具有1.0至2.0的球形度。

3.权利要求1的方法，其中所述烧结所述纳米粒子组的步骤包括 使用电阻加热器和辐射加热器其中之一。

4.权利要求1的方法，其中所述基底是聚酰亚胺基底。

5.权利要求1的方法，其中在基本无氧的环境下将所述IV族纳米 粒子转移入油墨中。

6.权利要求1的方法，其中所述油墨包括有机化合物。

7.权利要求1的方法，其中所述油墨包括有机硅氧烷化合物。

8.权利要求6的方法，其中所述有机化合物是醇、醛、酮、羧酸、 酯、胺和卤化烃的至少一种。

9.权利要求1的方法，其还包括将掺杂剂气体引入等离子体反应 器中。

10.权利要求9的方法，其中所述掺杂剂气体包括膦、胂、二氟化 硼、三甲基硼烷和二硼烷的至少一种。

11.权利要求1的方法，其中所述IV族前体气体包括硅烷、二硅 烷、锗烷、二锗烷和卤化物类似物中的至少一种。

12.权利要求1-11中任一项的方法制备的包含IV族纳米粒子的 膜。

13.一种制备包含IV族纳米粒子的膜的方法，该方法包括以下步 骤：

将IV族前体气体引入具有反应区的同心流通等离子体反应器， 所述等离子体反应器配有外管和内管；

点燃所述反应区内的射频等离子体，所述反应区在一组电极之 间，所述电极为管形外部电极和管形中央电极；

生成一组基本上球形的纳米粒子，其中所述基本上球形的纳米粒 子组的每个纳米粒子具有4nm至100nm的直径；

将所述基本上球形的纳米粒子组悬浮于油墨中；

将所述油墨按图案沉积在基底上；和

将所述纳米粒子组烧结以形成致密化层；

由此形成所述膜。

14.权利要求13的方法，其中所述IV族纳米粒子组的每个纳米粒 子具有1.0至2.0的球形度。

15.权利要求13的方法，其中所述烧结所述纳米粒子组的步骤包 括使用电阻加热器和辐射加热器其中之一。

16.权利要求13的方法，其中所述基底是聚酰亚胺基底。

17.权利要求13的方法，其中在基本无氧的环境下将所述IV族纳 米粒子转移入油墨中。

18.权利要求13的方法，其中所述油墨包括有机化合物。

19.权利要求13的方法，其中所述油墨包括有机硅氧烷化合物。

20.权利要求18的方法，其中所述有机化合物是醇、醛、酮、羧 酸、酯、胺和卤化烃的至少一种。

21.权利要求13的方法，其中所述将所述油墨沉积在基底上的步 骤包括用喷墨印刷方法沉积该油墨。

22.权利要求13-21中任一项的方法制备的包含IV族纳米粒子的 膜。