[发明专利]贴合方法以及贴合装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种贴合装置以及贴合方法，该贴合装置和贴合方法例如为了制造通过粘接剂贴合一对基板而形成的记录介质，对在贴合前向基板涂敷粘接剂进行改良。

背景技术

目前，对于光盘或光磁盘等的光学读取式的记录介质，再生专用的记录介质或可重写记录的信息的记录介质等各种各样规格的介质正在普及。例如，DVD等的光盘基本上是通过在两个基板的一方或双方上设置信息记录区域，并且经由粘接剂贴合而制造的。而且，为了正确地通过激光进行读写，要求用于贴合的粘接剂层的厚度具有非常高的精度。

参照图6对这样的贴合型盘片的制造顺序的一个例子进行说明。首先，预先注射模塑成形两张聚碳酸酯制的基板P，在喷溅室通过喷溅形成激光反射用的金属膜(记录膜)。然后，如图6(A)所示，将紫外线硬化型的粘接剂涂敷在两张基板P的接合面上，通过旋转涂敷来延展粘接剂。旋转涂敷是指，在利用涂敷装置K将粘接剂滴下涂敷到基板P的中心的周围之后，通过使基板P高速旋转，从而在基板P上形成粘接剂的薄膜(粘接层R)，使多余的粘接剂飞散。

如图6(B)所示，这样形成粘接层R的一对基板P以彼此的粘接层R形成平行相对的状态的方式，由中心销G的卡盘E保持一方，并且另一方载置在转台或基座等的载置面F上，在该状态下，导入到真空室C的下部。然后，如图6(C)所示，通过真空室C下降并密封，形成减压室S，通过排气装置从该减压室S排气，由此，基板P周围的压力从大气压变成真空。

在该减压后的空间中，在保持一方的基板P的卡盘E闭合并且基板P落下的同时，推压部T通过汽缸等驱动源而下降并推压，由此，贴合于另一方的基板P。贴合时形成真空是为了尽可能地排除粘接的面之间的气体分子。

之后，如图6(D)所示，贴合后的基板P的周围导入大气而恢复到大气压，或者在加压到大气压以上之后恢复到大气压。通过这样被释放到大气压，残留在粘接层R的气泡通过与真空的压差而逐渐压缩。如图6(E)所示，通过光源U向放置在大气中几秒至几十秒的基板P整体照射紫外线，直到气泡被充分压缩为止，由此，粘接层R硬化。这样，两张基板P被牢固地粘接，制成盘片。

如上所述，对于贴合涂敷了粘接剂的基板而制造的盘片，在用于读写信息的激光照射到盘片上时，为了稳定地形成光点，希望尽量降低附着的脏物或产生的气泡。作为对策，目前，在真空中进行贴合或贴合后进行加压。这样的加压方法是利用大气压并在大气中暴露规定的时间(大气放置)(参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2006-48855号公报

但是，为了形成由激光形成的稳定的光点，所述盘片必须是没有弯曲或变形的平坦的盘片。因此，在该盘片中，希望贴合时的粘接层的膜厚尽量均匀。已知，例如通过旋转涂敷而涂敷的粘接层的膜厚的周内变化(标准离差)是从盘片的内周越向外周越大。

并且，随着如近年来的HD(高清晰度DVD)、BD(蓝光光盘)中所出现的记录密度的提高，最终的盘片所要求的粘接层的均匀性非常严格。例如，目前的DVD的标准离差范围为30μm左右，但HD或BD要求10μm左右的更高的精度。并且，随着该记录密度的提高，为了防止读取错误，也要求进一步减小附着的脏物或产生的气泡的尺寸和数量。

但是，如所述专利文献1所述，若为了减少气泡而在贴合后放置到大气中，则粘接层的周内变化扩大。这想必是由于从涂敷粘接剂后开始到硬化为止的时间变长，在硬化中途粘接剂流动的机会增加所致。例如，图7表示在贴合后不进行放置的情况和进行放置(20s)的情况下的各自的一个例子和测定平均的周内变化率的结果。根据图7可知，在放置的情况下，周内变化整体变差，外周部的变化大。

发明内容

本发明是为了解决所述现有技术的问题点而提出的，其目的是提供一种贴合方法和贴合装置，该贴合方法和贴合装置既能确保涂敷时的粘接层的均匀性，抑制制造中的粘接层的变化，又能够减少气泡。

为了达成所述目的，本发明是一种贴合方法，经由通过照射电磁波而发生硬化的粘接剂贴合第一基板和第二基板，其特征在于，以分别不同的厚度向所述第一基板的一方的面和所述第二基板的一方的面涂敷粘接剂，向涂敷到所述第一基板上的粘接剂和涂敷到所述第二基板上的粘接剂中的厚的一方照射电磁波，贴合所述第一基板中的涂敷了粘接剂的面和所述第二基板中的涂敷了粘接剂的面，向所述第一基板和所述第二基板之间的粘接剂照射电磁波。