[发明专利]在电化学抛光应用中用于再生电解液的方法无效
| 申请号: | 200780031134.8 | 申请日: | 2007-08-09 |
| 公开(公告)号: | CN101506938A | 公开(公告)日: | 2009-08-12 |
| 发明(设计)人: | H-J·科尼兹尼 | 申请(专利权)人: | 美国挤压研磨公司 |
| 主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李 帆 |
| 地址: | 美国宾*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电化学 抛光 应用 用于 再生 电解液 方法 | ||
1.一种重新使用含有高浓度氯化钠的再生的电解液的方法,这 些电解液被用于铝工件的电化学抛光,该方法包括:
以一定的量将硝酸铁加入该电解液中以使由该电化学抛光生产 的、精细分散的铝水解产物主要在粗絮凝剂颗粒中沉淀;并且
从该电解液中将这些粗絮凝剂颗粒以及任何剩余的精细分散的 铝水解产物二者分离出来,由此产生一种基本上无污染物的电解液。
2.根据权利要求1所述的方法,其中该电解液具有在一种水溶 液中量值大于50%的氯化钠浓度。
3.根据权利要求2所述的方法,根据权利要求1所述的方法, 其中电解液具有在一种水溶液中量值范围在50%至60%之间的氯化钠 浓度。
4.根据权利要求1所述的方法,其中与这些剩余的精细分散的 铝水解产物一起产生了多种钠离子络合物,由此提高这些水解产物从 该电解液中的分离。
5.根据权利要求1所述的方法,其中该分离步骤包括离心、过 滤和沉淀。
6.一种用于重新使用含有高浓度钠盐的再生的电解液的方法, 这些电解液用于铝工件的电化学抛光,该方法包括:
以一定的量将硝酸铁加入该电解液中以使由该电化学抛光生产 的、精细分散的铝水解产物主要在粗絮凝剂颗粒中沉淀;并且
从该电解液中将这些粗絮凝剂颗粒以及任何剩余的精细分散的 铝水解产物二者分离出来,由此产生一种基本上无污染物的电解液。
7.根据权利要求6所述的方法,其中该钠盐包括硝酸钠。
8.根据权利要求7所述的方法,其中改电解液在一种水溶液中 具有量值大于50%的硝酸钠浓度。
9.根据权利要求8所述的方法,其中该电解液具有在一种水溶 液中量值范围在50%至60%之间的硝酸钠浓度。
10.根据权利要求6所述的方法,其中与这些剩余的精细分散 的铝水解产物一起产生了多种钠离子络合物,由此提高这些水解产物 从该电解液中的分离。
11.一种用于重新使用含有高钠离子浓度的再生的电解液的 方法,这些电解液用于铝工件的电化学抛光,该方法包括:
以一定的量将硝酸铁加入该电解液中以使由该电化学抛光生产 的、精细分散的铝水解产物主要在粗絮凝剂颗粒中沉淀;并且
从该电解液中将这些粗絮凝剂颗粒以及任何剩余的精细分散的 铝水解产物二者分离出来,由此产生一种基本上无污染物的电解液。
12.根据权利要求11所述的方法,其中该电解液在一种水溶液中 具有量值大于50%的钠离子浓度。
13.根据权利要求12所述的方法,其中该电解液具有在一种水溶 液中量值范围在50%至60%之间的钠离子浓度。
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