[发明专利]无电解镀Ni-P的方法和电子部件用基板无效
| 申请号: | 200780023609.9 | 申请日: | 2007-06-22 |
| 公开(公告)号: | CN101479405A | 公开(公告)日: | 2009-07-08 |
| 发明(设计)人: | 横田将幸;浅田贤;菊井文秋 | 申请(专利权)人: | 株式会社新王材料 |
| 主分类号: | C23C18/54 | 分类号: | C23C18/54;C23C18/36;H05K3/24 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙 淳 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电解 ni 方法 电子 部件 用基板 | ||
1.一种无电解镀Ni-P的方法,其特征在于,包括:
准备基板的工序(a),该基板具有绝缘性基板、和设置在所述绝 缘性基板的至少一个面上的铜合金层,该铜合金层由铜或者含有铜的 合金形成,并且具有包括相互分离的多个岛状部的规定的图案;
准备用于进行无电解镀Ni-P的镀液的工序(b);
准备至少在表面上具有Ni、Ni-P、Co或Co-Ni的固体的工序(c);
通过在使所述多个岛状部中的至少两个岛状部与所述镀液接触的 状态下,使所述固体与所述至少两个岛状部的表面接触,开始选择性 地在所述至少两个岛状部的表面形成无电解镀Ni-P覆膜的工序(d); 和
在所述工序(d)之后,通过在所述镀液中不存在所述固体的状态 下,使所述多个岛状部中的至少两个岛状部与所述镀液接触,使所述 无电解镀Ni-P覆膜生长的工序(e)。
2.如权利要求1所述的无电解镀Ni-P的方法,其特征在于:在所 述工序(b)之前,还包括对所述铜合金层的表面进行清洁的工序。
3.如权利要求1或2所述的无电解镀Ni-P的方法,其特征在于: 所述工序(d)包括使所述固体与所述至少两个岛状部的表面断续地接 触的工序。
4.如权利要求1或2所述的无电解镀Ni-P的方法,其特征在于: 所述固体具有的表面氧化膜的厚度为3nm以下。
5.如权利要求1或2所述的无电解镀Ni-P的方法,其特征在于: 在所述工序(d)中,所述镀液的温度为80℃以上。
6.如权利要求1或2所述的无电解镀Ni-P的方法,其特征在于: 在所述工序(d)中,所述镀液的Ni浓度为4g/L以上。
7.如权利要求1或2所述的无电解镀Ni-P的方法,其特征在于: 所述固体为粒状。
8.一种电子部件用基板,其特征在于,具备:
陶瓷基板;
设置在所述陶瓷基板的至少一个面上的铜合金层,该铜合金层由 铜或者含有铜的合金形成,并且具有包括相互分离的多个岛状部的规 定的图案;和
覆盖所述多个岛状部中的至少两个岛状部的、由权利要求1~7中 任一项所述的无电解镀Ni-P的方法制得的无电解镀Ni-P覆膜形成的镀 层,其中,
以在所述至少两个岛状部的上表面形成的所述镀层的平均厚度为 tu、以所述至少两个岛状部中相互邻接的两个岛状部的最小间隔为Wi、 并以覆盖所述相互邻接的两个岛状部的所述镀层的最小间隔为Wp时, 满足0.8≤{(Wi-Wp)/2}/tu≤1.3的关系。
9.如权利要求8所述的电子部件用基板,其特征在于:所述最小 间隔Wi为1mm以下,所述铜合金层的平均厚度为0.3mm以上。
10.如权利要求8或9所述的电子部件用基板,其特征在于:所述 镀层与所述铜合金层直接接触。
11.如权利要求8或9所述的电子部件用基板,其特征在于:所述 镀层不含镀膜催化剂元素。
12.如权利要求8或9所述的电子部件用基板,其特征在于:所述 镀层中所含的磷元素相对于所述镀层总体的含有率为5.0质量%以上、 13.0质量%以下。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理





