[发明专利]卡片型MEMS麦克风

权利要求书

1.一种卡片型MEMS麦克风，包括：

基板，具有第一通孔和第二通孔；

MEMS芯片，其中由振动膜电极和硅衬底形成的空间形成在包围所述第一通孔的出口的位置，且所述MEMS芯片用于将传播到所述振动膜电极的声音信号转换成电信号；以及

声阻构件，在安装所述MEMS芯片一侧的对立侧上的基板表面安装在覆盖所述第一通孔的位置，

其中所述基板具有用于将从所述MEMS芯片输出的电信号传输到电子设备的端子，且所述基板呈可拆装到所述电子设备的卡片形状，以及

所述第二通孔为待传播到所述振动膜电极的声音信号绕过所述基板而穿过的孔。

2.如权利要求1所述的卡片型MEMS麦克风，其中所述第二通孔呈近似围绕所述MEMS芯片的圆弧形状。

3.如权利要求1或2所述的卡片型MEMS麦克风，其中当声音产生于安装所述MEMS芯片的基板表面的对立侧上时，穿过所述声阻构件和所述第一通孔且从所述振动膜电极的背侧传播的所述声音的信号以及穿过所述第二通孔且从所述振动膜电极的表面侧传播的所述声音的信号几乎同时到达所述振动膜电极。

4.一种安装有如权利要求1所述的卡片型MEMS麦克风的便携电话。