[发明专利]原子层沉积系统以及用于涂覆柔性衬底的方法

权利要求书

1.一种用于将薄膜沉积在柔性衬底上的系统，其包括：

第一前驱体区，当所述系统在使用中时将第一前驱体气体引入到所述第一前驱体区中；

第二前驱体区，当所述系统在使用中时将不同于所述第一前驱体气体的第二前驱体气体引入到所述第二前驱体区中；

隔离区，其介于所述第一与第二前驱体区之间，当所述系统在使用中时，将惰性气体引入到所述隔离区中，所述隔离区包含一系列限流通路，所述限流通路向所述第一与第二前驱体区开放且经布置以提供一系列路径，柔性衬底沿着所述路径在所述第一前驱体区与所述第二前驱体区之间往复横穿多次且每次均通过所述隔离区；以及

衬底传送机构，其包含：

多个第一转向引导件，其沿着所述第一前驱体区被间隔开，所述第一转向引导件中的至少一些转向引导件适于在所述衬底朝着所述第二前驱体区的行进方向变化期间支撑所述衬底，以及

多个第二转向引导件，其沿着所述第二前驱体区被间隔开，所述第二转向引导件中的至少一些转向引导件适于在所述衬底朝着所述第一前驱体区的行进方向变化期间支撑所述衬底。

2.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括将所述隔离区与所述第一前驱体区分离的第一分隔物，和将所述隔离区与所述第二前驱体区分离的第二分隔物，且其中所述限流通路包含穿过所述第一分隔物的一系列第一通路，和穿过所述第二分隔物的一系列第二通路。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一和第二转向引导件中的每一者包含辊。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述衬底传送机构进一步包括：

放出卷轴，其用于从线圈放出所述衬底以便在所述隔离区的第一末端处接收；以及 

卷起卷轴，其用于卷绕从所述隔离区的与所述第一末端相反的第二末端接收到的所述衬底。

5.根据权利要求4所述的系统，其中所述放出和卷起卷轴位于所述隔离区内。

6.根据权利要求4所述的系统，其中所述放出和卷起卷轴位于所述隔离区、所述第一前驱体区和所述第二前驱体区外部，且所述系统进一步包括处于所述隔离区的第一末端处的入口通路和处于所述隔离区的与所述第一末端相反的第二末端处的出口通路。

7.根据权利要求4所述的系统，其中所述放出卷轴和所述卷起卷轴每一者包含可逆的驱动机构。

8.根据权利要求1至4所述的系统，其中所述通路中的至少一些通路包含隧道。

9.根据权利要求1至4所述的系统，其中所述通路中的至少一些通路包含刮擦器。

10.根据权利要求1至4所述的系统，其进一步包括：

第一前驱体递送系统，其耦合到所述第一前驱体区，用于将所述第一前驱体气体供应到所述第一前驱体区；以及

第二前驱体递送系统，其耦合到所述第二前驱体区，用于将所述第二前驱体气体供应到所述第二前驱体区。

11.根据权利要求1至4所述的系统，其进一步包括用于将惰性气体注射到所述隔离区中的惰性气体递送系统。

12.根据权利要求1至4所述的系统，其中所述系列的限流通路包含至少十个此类通路。

13.根据权利要求1至4所述的系统，其中所述第一转向引导件中的至少一些转向引导件可调节地安装在所述第一前驱体区内以朝着所述隔离区和远离所述隔离区移动，以借此调节所述衬底在所述第一前驱体区中的停留时间。

14.根据权利要求1至4所述的系统，其进一步包括可操作地耦合到所述第一和第二前驱体区中的至少一者的泵。

15.根据权利要求14所述的系统，其进一步包括介于所述第一和第二前 驱体区中的一者与所述泵之间的前驱体捕集器。

16.根据权利要求1至4所述的系统，其进一步包括用于将前驱体游离基供应到所述第一和第二前驱体区中的一者的游离基产生器。