[发明专利]惯性力传感器

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于飞机、汽车、机器人、船舶、车辆等移动物体的姿 态控制、或者导航(navigation)装置等各种电子设备中的、用以检测惯性 力的惯性力传感器。

背景技术

以下，对于现有的惯性力传感器进行说明。

目前使用的是用于检测角速度或者加速度等惯性力的惯性力传感器。当 使用现有的惯性力传感器时，为了检测角速度，而使用专用角速度传感器， 为了检测加速度而使用专用加速度传感器。而且，当对与相互正交的X轴、 Y轴、Z轴多个检测轴相对应的角速度和加速度进行检测时，使用与检测轴 数量相对应的多个角速度传感器和加速度传感器。

因此，在各种电子设备中，对角速度和加速度进行综合检测时，或者对 多个检测轴检测角速度和加速度时，将多个角速度传感器和加速度传感器分 别安装在电子设备的安装基板上。

例如，角速度传感器中，使音叉形状、或者H形状、T形状等各种形状 的检测元件振动，电探测因科里奥利力的产生而引起的检测元件的变形，以 检测角速度。而且，例如加速度传感器具有锤部，通过和工作前进行比较而 探测锤部伴随加速度的移动，来检测加速度。

这种现有的角速度传感器和加速度传感器等多种惯性力传感器，相应于 检测对象的惯性力或者检测轴，在车辆等移动物体的姿态控制装置或者导航 装置等中被使用。

另外，现有的惯性力传感器，例如，在日本专利特开2001-208546号公 报(专利文献1)、或者日本专利特开2001-74767号公报(专利文献2)等 中被公开。

专利文献1：日本专利特开2001-208546号公报

专利文献2：日本专利特开2001-74767号公报

发明内容

本发明提供一种小型惯性力传感器，无需用于安装多个惯性力传感器的 较大安装面积，便可对角速度或者加速度等互不相同的多个惯性力、或者多 个检测轴的惯性力进行检测。

本发明的惯性力传感器包括用于检测惯性力的检测元件，检测元件具有 第1正交臂和支承部，第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向上 连结，支承部支承第1臂。另外，第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据 此结构实现对互不相同的多个惯性力进行检测，且实现对多个检测轴的惯性 力进行检测的小型惯性力传感器。

附图说明

图1A为表示本发明第一实施方式中惯性力传感器所使用的检测元件的 平面图。

图1B为表示图1A所示的检测元件工作状态的工作状态图。

图2A为表示本发明第一实施方式中另一形态的检测元件的平面图。

图2B为表示本发明第一实施方式中又一形态的检测元件的平面图。

图3为表示本发明第二实施方式中惯性力传感器工作状态的工作状态 图。

图4A为表示本发明第三实施方式中惯性力传感器所使用的检测元件的 平面图。

图4B为表示图4A所示的检测元件工作状态的工作状态图。

图5A为表示本发明第三实施方式中另一形态的检测元件的平面图。

图5B为表示本发明第三实施方式中又一形态的检测元件的平面图。

图6A为本发明第四实施方式中惯性力传感器所使用的检测元件的平面 图。

图6B为表示图6A所示的检测元件工作状态的工作状态图。

图7A为表示本发明第四实施方式中另一形态的检测元件的平面图。

图7B为表示本发明第四实施方式中又一形态的检测元件的平面图。

图8A为本发明第五实施方式中惯性力传感器所使用的检测元件的平面 图。

图8B为表示图8A所示的检测元件工作状态的工作状态图。

图9为表示在本发明第五实施方式中另一形态下的检测元件的平面图。

图10为本发明第五实施方式中又一形态的检测元件的立体图。

图11为本发明第六实施方式中惯性力传感器所使用的检测元件的平面 图。

图12为表示图11所示的检测元件工作状态的工作状态图。

图13为本发明第六实施方式中另一形态的检测元件的平面图。

图14A为本发明第六实施方式中又一形态的检测元件的平面图。