[发明专利]惯性力传感器

权利要求书

1.一种惯性力传感器，其具备：

用于检测惯性力的检测元件，

所述检测元件具有支承部和两个第1正交臂，

所述第1正交臂具有一端与所述支承部连接的第1臂、和从所述第1臂 的另一端向实质上与所述第1臂正交的方向分支的两个第2臂，

所述第2臂具有将所述第2臂弯折的弯折部，

驱动振动所述弯折部的端部，利用所述第1臂和所述第2臂探测变形。

2.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中：

所述第2臂在所述弯折部处弯折，且与所述第1臂相对面。

3.根据权利要求2所述的惯性力传感器，其中：

所述第1臂与所述支承部配置在实质上同一直线上。

4.根据权利要求2所述的惯性力传感器，其中：

所述第2臂的端部在与所述第1臂垂直的方向上被驱动振动，

通过探测所述第1臂或者所述第2臂的变形来检测角速度。

5.根据权利要求2所述的惯性力传感器，其中：

通过探测所述第1臂或者所述第2臂的变形来检测加速度。

6.根据权利要求2所述的惯性力传感器，其中：

所述检测元件还具备在所述第2臂的端部上形成的锤部。

7.根据权利要求2所述的惯性力传感器，其中：

所述第2臂的端部被弯折成蜿蜒状。

8.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中：

所述检测元件还具有两个固定用臂，所述固定用臂连结于所述支承部， 且固定在安装着所述检测元件的安装基板上，

所述固定用臂是第2正交臂，其具有第3臂和第4臂，并将所述第3臂 与所述第4臂在实质上正交的方向上连结形成，

所述第3臂由所述支承部支承，

所述固定用臂由所述第4臂固定在所述安装基板上。

9.根据权利要求8所述的惯性力传感器，其中：

所述第2臂在所述弯折部处弯折，且与所述第2臂相对面。

10.根据权利要求8所述的惯性力传感器，其中：

所述第1臂与所述支承部配置在实质上同一直线上，

所述第3臂与所述支承部配置在实质上同一直线上，

所述第1臂与所述第3臂配置在实质上相互正交的方向上。

11.根据权利要求8所述的惯性力传感器，其中：

所述第2臂的端部在与所述第1臂垂直的方向上被驱动振动，

通过探测至少所述第1臂、所述第2臂、所述第3臂以及所述第4臂中 任一个臂的变形来检测角速度。

12.根据权利要求8所述的惯性力传感器，其中：

通过探测至少所述第1臂、所述第2臂、所述第3臂以及所述第4臂中 任一个臂的变形来检测加速度。

13.根据权利要求8所述的惯性力传感器，其中：

所述检测元件还具备在所述第2臂的端部上形成的锤部。

14.根据权利要求8所述的惯性力传感器，其中：

所述第2臂的端部被弯折成蜿蜒状。

15.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中：

所述检测元件还具有两个固定用臂，所述固定用臂连结于所述支承部， 且固定在安装着所述检测元件的安装基板上，

所述第2臂在所述弯折部处弯折，且与所述第2臂相对面。

16.根据权利要求15所述的惯性力传感器，其中：

所述第1臂与所述支承部配置在实质上同一直线上，

所述固定用臂与所述支承部配置在实质上同一直线上，

所述第1臂与所述固定用臂配置在实质上相互正交的方向上。