[实用新型]用于传输衬底架的传输封装件

权利要求书

1.一种用于传输衬底架的传输封装件，其特征在于，所述传输封装件包括：

(a)容器，包括硬箱体；

(b)所述箱体内部的泡沫块，所述泡沫块包括切割部分，该切割部分具有其形状对应于传输外壳的外部形状的内部轮廓，所述传输外壳为具有绕其向外和横向延伸的凸缘的圆柱形状。

2.如权利要求1所述的传输封装件，其特征在于，所述容器包括矩形盒子。

3.如权利要求1所述的传输封装件，其特征在于，所述泡沫块包括粘到一起的多个泡沫片。

4.如权利要求1所述的传输封装件，其特征在于，所述泡沫块包括尺寸为10微米至100微米的孔。

5.如权利要求1所述的传输封装件，其特征在于，还包括传输外壳，所述传输外壳包括相对的一对托盘，每个托盘具有封闭末端和带有圆周凸缘的开放末端，所述托盘在所述圆周凸缘处接合，以限定所述传输外壳内部的空腔。

6.如权利要求5所述的传输封装件，其特征在于，所述托盘包括圆柱体。

7.如权利要求5所述的传输封装件，其特征在于，所述圆周凸缘从所述外壳的相对的所述托盘向外和横向延伸。

8.如权利要求5所述的传输封装件，其特征在于，还包括所述外壳的所述空腔内部的固定装置，所述固定装置包括：

(i)顶部端板和底部端板；

(ii)多个间隔开的支柱，其将所述顶部端板连接到所述底部端板上，以将所述衬底架限定在它们之间，每个所述支柱都具有纵向内部边缘；以及

(iii)多个适应性缓冲器，每个所述缓冲器都耦合到所述支柱的所述纵向内部边缘上。

9.如权利要求8所述的传输封装件，其特征在于，还包括所述第一圆周凸缘和所述第二圆柱凸缘之间的密封垫圈，以在其间形成密封。

10.如权利要求9所述的传输封装件，其特征在于，所述外壳包括排气端口耦合装置。

11.如权利要求9所述的传输封装件，其特征在于，所述外壳包括清扫用气体耦合装置。

12.如权利要求10所述的传输封装件，其特征在于，所述固定装置的所述顶部端板和所述底部端板为三角形，并且具有顶端，并且其中每个所述支柱结合到所述顶端。