[实用新型]调温式检测承载装置无效

专利信息
申请号: 200720000139.1 申请日: 2007-01-08
公开(公告)号: CN201051492Y 公开(公告)日: 2008-04-23
发明(设计)人: 苏明宗 申请(专利权)人: 苏明宗
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;H01L21/66
代理公司: 北京挺立专利事务所 代理人: 皋吉甫
地址: 台湾省新*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 调温 检测 承载 装置
【权利要求书】:

1.一种调温式检测承载装置,用来承载至少一待测物并控制其温度,其特征在于,该调温式检测承载装置包括:

一本体,其上表面可承载待测物,且内部设有一连接到一电源的电加热器;

一温度测量元件,其固定在该本体内用于读取温度;

一第一温度控制组件,其位于该本体下方,该第一温度控制组件具有一第一流道,及一第一入口和一第一出口分别与该第一流道两端连通;及

一第二温度控制组件,其位于该第一温度控制组件下方,且该第一、第二温度控制组件间设有一板体,该第二温度控制组件具有一第二流道,及一第二入口和一第二出口分别与该第二流道两端连通。

2.如权利要求1所述调温式检测承载装置,其特征在于,该本体具有一空腔,下方有一底件使该电加热器固定在空腔内。

3.如权利要求1所述调温式检测承载装置,其特征在于,该本体具有多个气体流道,且每个气体流道的一端都连接到该本体上表面,另一端则连接到一可连接一抽气装置的抽气管,以将该待测物吸附固定在该本体上表面。

4.如权利要求1所述调温式检测承载装置,其特征在于,该温度测量元件是一温度感测棒。

5.如权利要求1所述调温式检测承载装置,其特征在于,该板体的一面设有多个接触部与该第一温度控制组件接触。

6.如权利要求1所述调温式检测承载装置,其特征在于,该第一流道与该第二流道是螺旋状结构。

7.如权利要求1所述调温式检测承载装置,其特征在于,该第一入口、该第一出口分别与一第一导入管、第一导出管连接。

8.如权利要求1所述调温式检测承载装置,其特征在于,该第二入口、该第二出口分别与一第二导入管、第二导出管连接。

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