[发明专利]涂覆设备和气体供应系统

权利要求书

1.一种涂覆设备，其特别是PECVD涂覆设备，

包括处理室，

和气体管路系统(1)，其用于将气体供应到所述涂覆设备的所述处理室中和/或将气体从所述涂覆设备的所述处理室排出，所述气体管路系统(1)具有用于将气体供应到所述气体管路系统(1)中或用于将气体从所述气体管路系统(1)移除的至少一个供应开口(2)，用于将气体排出所述气体管路系统(1)或者用于将气体引入所述气体管路系统(1)的至少两个排出开口，以及管路(3a、3b、3aa、3ab、3ac、3ba、3bb、3bc)，所述管路每个都布置在所述至少一个供应开口(2)与所述排出开口(4a、4b、4c、4d、4e、4f)之间，所述管路(3a、3b、3aa、3ab、3ac、3ba、3bb、3bc)被形成为使得在所述至少一个供应开口(2)与所述排出开口(4a、4b、4c、4d、4e、4f)之间的各个管路(3a、3b、3aa、3ab、3ac、3ba、3bb、3bc)的流动阻力基本相等，其特征在于

所述气体管路系统(1)具有至少一个分支点(2a、2b)，在所述至少一个分支点处第一管路部分(3a、3b)开口为连接至所述第一管路部分(3a、3b)的至少三个第二管路部分(3aa、3ab、3ac、3ba、3bb、3bc)。

2.根据权利要求1所述的涂覆设备，其特征在于

所述第一管路部分(3a、3b)开口为连接至所述第一管路部分(3a、3b)的正好三个第二管路部分(3aa、3ab、3ac、3ba、3bb、3bc)。

3.根据权利要求1或2所述的涂覆设备，其特征在于

至少三个排出开(4a、4b、4c、4d、4e、4f)，特别是正好三个排出开口(4a、4b、4c、4d、4e、4f)或者N＝3*2ⁿ个排出开口(4a、4b、4c、4d、4e、4f)连接到所述至少一个供应开口(2)，其中n＝0、1、2、3…。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的涂覆设备，其特征在于

在所述供应开口(2)与所述排出开口(4a、4b、4c、4d、4e、4f)之间的所述管路(3a、3b、3aa、3ab、3ac、3ba、3bb、3bc)具有相同的长度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的涂覆设备，其特征在于

在所述供应开口(2)与所述排出开(4a、4b、4c、4d、4e、4f)之间的所述管路(3a、3b、3aa、3ab、3ac、3ba、3bb、3bc)具有相同数量的分支。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的涂覆设备，其特征在于

所述管路(3a、3b、3aa、3ab、3ac、3ba、3bb、3bc)延伸为至少两个级别。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的涂覆设备，其特征在于

所述第一管路部分(3a、3b)从第一点，具体而言从所述供应点(2)延伸到所述分支点(2a、2b)，并且从所述分支点(2a、2b)继续的所述至少三个连接的第二管路部分(3aa、3ab、3ac、3ba、3bb、3bc)可以在它们自身之间形成90°和/或180°的角度。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的涂覆设备，其特征在于

从所述分支点(2a、2b)继续的所述三个管路部分(3aa、3ab、3ac、3ba、3bb、3bc)可以与所述第一管路部分(3a、3b)形成45°、135°或225°的角度。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的涂覆设备，其特征在于

所述管路系统(1)具有对称结构。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的涂覆设备，其特征在于

至少一个管路部分(3a、3b、3aa、3ab、3ac、3ba、3bb、3bc)被形成为板中的凹部和/或凹陷，特别是其通过车铣来形成。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的涂覆设备，其特征在于

所述第一管路部分(3a、3b)被形成为板中的凹部和/或凹陷，特别是其通过车铣来形成，并且

在所述第一管路部分(3a、3b)与布置在所述板的面对远离所述第一管路部分的那侧上的所述至少三个第二管路部分(3aa、3ab、3ac、3ba、3bb、3bc)之间的连接被形成为在所述板上的钻孔。