[发明专利]衍射光栅元件及其制造方法和设计方法

权利要求书

1.一种衍射光栅元件，其特征在于具有：

基板；

设置在上述基板上的第1反射抑制部；

设置在上述第1反射抑制部上的衍射光栅部；和

设置在上述衍射光栅部上的第2反射抑制部，

上述第2反射抑制部与第1介质相接，

在上述衍射光栅部上通过在平行于上述基板的预定方向上交互设置第2介质和第3介质而设置有衍射光栅，

在1.2μm～1.675μm的波长区域存在反射率达到10％以下的波长。

2.根据权利要求1所述的衍射光栅元件，其特征在于：

当设顺序地排列上述基板、上述第1反射抑制部、上述衍射光栅部以及上述第2反射抑制部的方向为z方向，上述预定方向为x方向，折射率分布为n(x，z)，上述衍射光栅的周期为Λ，平均折射率n_av(z)为

$n_{\mathrm{av}}\left(z\right)=\sqrt{\frac{{\∫}_0^{\mathrm{\Λ}}{n}^2(x,z)\mathrm{dx}}{\mathrm{\Λ}}}$

，折射率调制Δn(z)为

$\mathrm{\Δn}\left(z\right)=\sqrt{\frac{\mathrm{\Λ}{\∫}_0^{\mathrm{\Λ}}\{n^2(x,z)-n_{\mathrm{av}}^2\left(z\right){\}}^2\mathrm{dx}}{\{{\∫}_0^{\mathrm{\Λ}}n(x,z)\mathrm{dx}{\}}^2}}$

，自z方向的位置z1到位置z2的衍射能力P(z1，z2)为

$P(z1,z2)={\∫}_{z1}^{z2}\mathrm{\Δn}\left(z\right)\mathrm{dz}$

时，

上述衍射光栅部的衍射能力大于上述衍射光栅部、上述第1反射抑制部以及上述第2反射抑制部的整体的衍射能力的50％。