[发明专利]用于制造平板显示器的设备

权利要求书

1.一种FPD制造设备，用于对在真空气氛下加载入室中的基板执行所需的处理，包括：

传送室，其中提供有传送机器人，以将基板加载到负载锁定室或处理室或者将基板从负载锁定室或处理室卸载，可分离的上盖被提供在所述传送室的上端以将所述传送机器人移动到外部站；以及

水平驱动单元对，提供在所述传送室的相对侧，以便以水平可移动的方式支持所述上盖。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述上盖和所述传送室的至少一个耦合表面形成气密性元件设置凹陷，使得气密性元件插入到所述气密性元件设置凹陷中。

3.如权利要求1所述的设备，其中所述水平驱动单元的每个包括：

纵向延伸的水平导引；以及

支持单元，置于所述水平导引的上表面上以与所述水平导引的滚动接触地水平滑动。

4.如权利要求3所述的设备，还包括：

垂直驱动单元，提供在所述支持单元中以将所述上盖提升到预定的位置。

5.如权利要求3所述的设备，其中所述水平导引绕其中间位置向上或向外可折叠。