[发明专利]用于精确定心的流体轴承工件夹具

权利要求书

1.一种工件夹具，包括本体，所述本体包括流体轴承和流体，其中所述流体轴承适于通过将所述流体保持在所述工件夹具和工件之间的间隙中而可释放地保持工件，所述流体轴承适于在所述工件上产生径向和/或轴向力，且所述工件夹具不包括用以可释放地保持工件的机械接触装置。

2.如权利要求1所述的工件夹具，其特征在于，还包括流体源。

3.如权利要求1所述的工件夹具，其特征在于，所述流体轴承是流体静力轴承或流体动力轴承。

4.如权利要求1所述的工件夹具，其特征在于，所述流体是通过外部源输送到所述间隙的液体或气体。

5.如权利要求1所述的工件夹具，其特征在于，所述流体通过粘性剪切而被内部加压。

6.如权利要求1所述的工件夹具，其特征在于，所述机械接触装置是卡爪、夹头、卡盘、磁性卡盘或夹持系统。

7.如权利要求1所述的工件夹具，其特征在于，所述工件被限制成仅允许沿所述工件的轴线旋转。

8.如权利要求1所述的工件夹具，其特征在于，所述工件的旋转误差运动小于1μm。

9.一种用工件夹具保持工件的方法，所述工件夹具包括本体，所述本体包括流体轴承和流体，其中该方法包括将所述工件放在所述流体轴承中，将所述流体保持在所述工件夹具和所述工件之间的间隙中，并可释放地将所述工件保持在所述工件夹具中，其中所述流体轴承适于在所述工件上产生径向和/或轴向力，且所述工件夹具不包括用以可释放地保持工件的机械接触装置。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，还包括流体源。

11.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述流体轴承是流体静力轴承或流体动力轴承。

12.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述流体是通过外部源输送到所述间隙的液体或气体。

13.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述流体通过粘性剪切而被内部加压。

14.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述机械接触装置是卡爪、夹头、卡盘、磁性卡盘或夹持系统。

15.如权利要求9所述的方法，其特征在于，限制所述工件仅允许沿所述工件的轴线旋转。

16.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述工件的旋转误差运动小于1μm。

17.一种制造工件夹具的方法，包括组装流体轴承，所述流体轴承适于通过将所述流体保持在所述工件夹具和工件之间的间隙中而可释放地保持所述工件，其中所述流体轴承适于在所述工件上产生径向和/或轴向力，且所述工件夹具不包括用以可释放地保持工件的机械接触装置以及外部驱动器/转子组件。

18.如权利要求17所述的方法，其特征在于，还包括提供流体源。

19.如权利要求17所述的方法，其特征在于，所述流体轴承是流体静力轴承或流体动力轴承。

20.如权利要求17所述的方法，其特征在于，所述机械接触装置是卡爪、夹头、卡盘、磁性卡盘或夹持系统。