[发明专利]含无机颗粒的光敏性树脂组合物、光敏性薄膜和无机图案的形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及含无机颗粒的光敏性树脂组合物、光敏性薄膜和 无机图案的形成方法。更具体地说，涉及在具有构成平板显示器 各显示盒的电介质、电极、电阻体、荧光体、隔板、滤色器和黑 矩阵的显示面板中，有机成分的热分解性优良、可适合用于形成 精度高图案的含无机颗粒的光敏性组合物、具有由该组合物制成 的光敏性树脂层的光敏性薄膜，以及采用该组合物或光敏性薄膜 形成无机图案的方法。

背景技术

近年来，对电路基板和显示器中图案加工的高密度化和高精 细的要求日益提高。在对这种要求有所提高的显示器中，特别是 等离子显示面板(以下也称为“PDP”)和场致发射显示器(以下也 称为“FED”)等平板显示器(以下也称为“FPD”)正备受关注。

图1是显示交流型PDP的剖面形状的模式图。在图1中，101 和102是相对配置的玻璃基板，103和111为隔板，由玻璃基板 101、玻璃基板102、背面隔板103和前面隔板111分割形成盒。 104是固定在玻璃基板101上的透明电极，105是为了降低透明电 极104的电阻而在该透明电极1 04上形成的总线电极，106是固定 在玻璃基板102上的地址电极。107是容纳在盒内的荧光物质，108 在玻璃基板101的表面上形成的覆盖透明电极104和总线电极105 的电介质层，109是在玻璃基板102表面上形成的覆盖地址电极 106的电介质层，110是例如由氧化镁形成的保护膜。另外，在彩 色FPD中，为了获得对比度高的图像，在玻璃基板与电介质层之 间设有滤色器(红色·绿色·蓝色)或黑色矩阵等。

作为FPD部件隔板、电极、电阻体、荧光体、滤色器和黑色 矩阵等的形成方法，已知：(1)将含无机颗粒的非光敏性树脂在基 板上通过丝网印刷形成所需的图案并将其焙烧的丝网印刷法；(2) 在基板上形成含无机颗粒的光敏性树脂层，借助绘制了所需的图 案的掩模，对上述光敏性树脂层照射红外线或紫外线并显影，使 基板上保留所需的图案，将其进行焙烧的影印法等(参见例如专利 文献1)。

在上述丝网印刷法中，随着面板的大型化和高精密化，对图 案精度的要求变得非常严格，出现了与通常的丝网印刷不相适应 的问题。另外，在上述影印法中，虽然图案的精度优良，但存在 在焙烧工序中观察到光敏性组合物的热分解性不良和大幅度收缩 等问题。

【专利文献1】日本特开平11-44949号公报

发明内容

本发明是为了解决上述问题而作出的，目的是提供能够形成 高精度图案，同时有机成分的热分解性优良，且焙烧后收缩小的 显示器部件形成用含无机颗粒的光敏性树脂组合物。

另外，本发明的目的是提供具有由上述含无机颗粒的光敏性 树脂组合物形成的、能够形成高精度图案、同时有机成分的热分 解性优良的含无机颗粒树脂层的光敏性薄膜，并提供采用本发明 组合物或光敏性薄膜的无机图案形成方法以及包括该无机图案形 成方法的平板显示器的制造方法。

本发明者为了解决上述问题进行了专门的研究，结果发现， 通过采用包括含特定光固化剂的无机颗粒的树脂组合物，可以解 决上述问题，从而完成了本发明。

即，本发明所涉及的显示器部件形成用的含无机颗粒的光敏 性树脂组合物特征在于含有无机颗粒、碱可溶性树脂、1分子中具 有至少2个(甲基)丙烯酰基且具有选自缩醛键、半缩醛酯键和单硫 缩醛键的至少1个键的光固化剂和光聚合引发剂。

上述碱可溶性树脂优选满足下述条件(1)～(3)：

(1)重均分子量为5000～100000；

(2)玻璃化转变温度为0℃～120℃；

(3)在热重分析中，当以达到无重量变化时作为重量减少率为 100％时，重量减少率为10％时的温度为150℃以上，且450℃下的 重量减少率为90％以上。

上述光固化剂优选具有选自下式(1)和(2)表示的基团的至少1 个基团，

式(1)中，R¹表示氢原子或者甲基，R²表示有机残基、R³表示 氢原子或者有机残基，*表示与分子骨架键合的部位。