[发明专利]含无机颗粒的光敏性树脂组合物、光敏性薄膜和无机图案的形成方法

权利要求书

1.一种显示器部件形成用的含无机颗粒的光敏性树脂组合物， 含有无机颗粒、碱可溶性树脂、1分子中具有至少2个(甲基)丙烯 酰基且具有选自缩醛键、半缩醛酯键和单硫缩醛键的至少1个键 的光固化剂、和光聚合引发剂，其特征在于：

上述碱可溶性树脂是选自甲基丙烯酸2-羟基乙基酯、甲基丙 烯酸和2-甲基丙烯酰氧基乙基邻苯二甲酸酯的单体(i)与选自甲基 丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸苄酯和甲基丙烯酸十二烷基酯的单体(ii) 的共聚物，

上述碱可溶性树脂满足下述条件(1)～(3)：

(1)重均分子量为5000～100000；

(2)玻璃化转变温度为0℃～120℃；

(3)在热重分析中，当以达到无重量变化时作为重量减少率为 100％时，重量减少率为10％时的温度为150℃以上，且450℃下的 重量减少率为90％以上，

上述光固化剂具有选自下式(1)和(2)表示的基团的至少1个基 团，或为由下式(3)表示的化合物与具有羟基、巯基和/或羧基的化 合物在酸催化剂的存在下进行加成反应所制得的化合物，

式(1)中，R¹表示氢原子或者甲基，R²表示有机残基、R³表示 氢原子或者有机残基，*表示与分子骨架键合的部位，

式(2)中，R⁴表示氢原子或者甲基，R⁵表示有机残基、R⁶表示 氢原子或者有机残基，*表示与分子骨架键合的部位，

式(3)中，R⁷表示氢原子或者甲基，R⁸表示有机残基、R⁹表示 氢原子或者有机残基，

上述式(1)中的R²、式(2)中的R⁵和式(3)中的R⁸均为聚合度为 1～15的聚乙二醇骨架、聚丙二醇骨架或聚丁二醇骨架。

2.一种光敏性薄膜，其特征在于：具有由权利要求1所述的显 示器部件形成用的含无机颗粒的光敏性树脂组合物制得的含无机 颗粒的光敏性树脂层。

3.一种无机图案的形成方法，其特征在于包括：

在基板上形成由权利要求1所述的显示器部件形成用的含无 机颗粒的光敏性树脂组合物构成的含无机颗粒的光敏性树脂层的 工序、

将该含无机颗粒的光敏性树脂层进行曝光处理形成图案潜像 的工序、

将该含无机颗粒的光敏性树脂层进行水显影处理形成图案的 工序、和

将该图案进行焙烧处理的工序。

4.一种无机图案的形成方法，其特征在于包括：

采用权利要求2所述的光敏性薄膜，将构成该光敏性薄膜的 含无机颗粒的光敏性树脂层转印至基板上的工序、

将该含无机颗粒的光敏性树脂层进行曝光处理形成图案潜像 的工序、

将该含无机颗粒的光敏性树脂层进行水显影处理形成图案的 工序、和

将该图案进行焙烧处理的工序。

5.一种平板显示器的制造方法，其特征在于包括通过权利要求 3或4所述的无机图案的形成方法，形成选自电介质、电极、电阻 体、荧光体、隔板、滤色器和黑色矩阵的至少一种显示部件的工 序。

6.权利要求5所述的平板显示器的制造方法，其特征在于上述 平板显示器为等离子显示面板。