[发明专利]整合基本电性及系统功能检测的装置及方法无效
申请号: | 200710086858.4 | 申请日: | 2007-03-19 |
公开(公告)号: | CN101271854A | 公开(公告)日: | 2008-09-24 |
发明(设计)人: | 林源记;谢志宏;林世芳;潘浩欣 | 申请(专利权)人: | 京元电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人: | 包红健 |
地址: | 台湾省新*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 整合 基本 系统 功能 检测 装置 方法 | ||
1. 一种半导体测试装置的测试区结构,包括有至少一个测试单元,其特征在于上述测试单元包括:
插槽;
电路基板,其上配置有第一电路及第二电路;及
切换元件,其依据该半导体测试装置的信息执行切换操作,以使该插槽电性连接该第一电路或该第二电路。
2. 根据权利要求1所述的测试区结构,其特征在于该第一电路为基本电性测试电路。
3. 根据权利要求2所述的测试区结构,其特征在于该第二电路为功能电性测试电路。
4. 根据权利要求1所述的测试区结构,其特征在于该切换元件可自下列组合中选出,多功装置、继电装置、半导体元件。
5. 一种整合基本电性测试及功能测试的半导体测试装置测试方法,包含:
提供至少一个测试单元;
提供至少一个待测元件,并使该待测元件与该测试单元电性耦合;
执行基本电性测试;
检查该基本电性测试的结果并进行判断程序;
驱动切换元件,以使该待测元件电性连接设于该测试单元的功能电性测试电路;
执行功能电性测试;及
记录待测元件的测试结果,并依测试结果进行待测元件的分类。
6. 根据权利要求5所述的测试方法,其特征在于其进一步可于执行该基本电性测试前,先检测待测元件是否通过该切换元件而电性连接设于该测试单元的基本电性测试电路。
7. 根据权利要求5所述的测试方法,其特征在于当该判断程序判断该待测元件无法通过基本电性测试时,则停止测试,并记录待测元件的测试结果,且依测试结果进行待测元件的分类。
8. 一种半导体测试装置,包括有测试主机、分类机、待测元件输入/输出区以及测试区域,其特征在于该测试区域还进一步由多个测试单元所组成,上述测试单元包括:
插槽;
电路基板,其上配置有基本电性测试电路及功能电性测试电路;及
切换元件,依据该测试主机的信息执行切换操作,以使该待测元件电性连接该基本电性测试电路或该功能电性测试电路。
9. 一种半导体测试装置,包括有测试主机、分类机、待测元件输入/输出区以及测试区域,其特征在于该测试区域还进一步由多个测试单元所组成,上述测试单元包括::
第一插槽;
基本电性测试电路,其与该第一插槽电性连接;
第二插槽;及
功能电性测试电路,其与该第二插槽电性连接;
其中该分类机在吸取待测元件后,即依据该测试主机发出的信息依次将该待测元件分别插入该第一插槽或该第二插槽。
10. 一种半导体测试装置的测试区结构,包括有至少一个测试单元,其特征在于上述测试单元包括:
插槽;
电路基板,其上配置有基本电性测试电路及功能电性测试电路;及
切换元件,依据该半导体测试装置的信息执行切换操作,以使该插槽电性连接该基本电性测试电路或该功能电性测试电路。
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