[发明专利]液晶显示装置及其制造方法无效

专利信息
申请号: 200710047740.0 申请日: 2007-11-02
公开(公告)号: CN101424841A 公开(公告)日: 2009-05-06
发明(设计)人: 马群刚 申请(专利权)人: 上海广电NEC液晶显示器有限公司
主分类号: G02F1/1362 分类号: G02F1/1362;G02F1/1343;G02F1/1333;H01L27/12;H01L21/027;H01L21/00
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 代理人: 薛 琦
地址: 201108上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 液晶 显示装置 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种液晶显示装置,其包括一玻璃基板,形成于玻璃基板上的透明公共电极,在透明公共电极上分别沉积绝缘层和钝化层,隔着绝缘层和钝化层形成在透明公共电极上的像素电极,像素电极与所述透明公共电极通过它们之间的绝缘层形成存储电容。

2.如权利要求1所述的液晶显示装置,其特征在于,所述透明公共电极通过接触孔与金属公共电极线电连接。

3.如权利要求1所述的液晶显示装置,其特征在于,所述透明公共电极的图案面积大于像素电极图案面积。

4.如权利要求1所述的液晶显示装置,其特征在于,所述透明公共电极的四个角上有连接线。

5.如权利要求1所述的液晶显示装置,其特征在于,所述透明公共电极的四个边上有连接线。

6.如权利要求4或5所述的液晶显示装置,其特征在于,所述透明公共电极通过其连接线与相邻的透明公共电极电性连接。

7.如权利要求1所述的液晶显示装置,其特征在于,所述透明公共电极的材料为氧化铟锡。

8.一种液晶显示装置的制造方法,其特征在于,其包括以下步骤:

步骤a,在玻璃基板上沉积透明公共电极薄膜,通过光刻和腐蚀工艺形成透明公共电极方块和连接线;

步骤b,在完成步骤a的基板上依次沉积公共电极绝缘层薄膜和栅极扫描线薄膜,通过光刻和腐蚀工艺,形成栅电极扫描线和晶体管栅电极;

步骤c,在完成步骤b的基板上沉积栅电极绝缘层薄膜和非晶硅薄膜,通过光刻和腐蚀工艺,形成硅岛;

步骤d,在完成步骤c的基板上沉积一层金属薄膜,通过光刻和腐蚀工艺,形成数据线、公共电极线、晶体管源电极、漏电极;

步骤e,在完成步骤d的基板上沉积一层钝化层,通过光刻和腐蚀工艺形成漏极部分的钝化层接触孔;

步骤f,在完成步骤e的基板上沉积一层透明导电薄膜,通过光刻和腐蚀工艺,覆盖漏电极上的接触孔,形成像素电极。

9.如权利要求8所述的液晶显示装置的制造方法,其特征在于,所述形成栅电极扫描线的步骤中形成像素电极的遮光条。

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