[发明专利]液晶显示装置及其制造方法无效
申请号: | 200710047740.0 | 申请日: | 2007-11-02 |
公开(公告)号: | CN101424841A | 公开(公告)日: | 2009-05-06 |
发明(设计)人: | 马群刚 | 申请(专利权)人: | 上海广电NEC液晶显示器有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1343;G02F1/1333;H01L27/12;H01L21/027;H01L21/00 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 薛 琦 |
地址: | 201108上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液晶 显示装置 及其 制造 方法 | ||
1.一种液晶显示装置,其包括一玻璃基板,形成于玻璃基板上的透明公共电极,在透明公共电极上分别沉积绝缘层和钝化层,隔着绝缘层和钝化层形成在透明公共电极上的像素电极,像素电极与所述透明公共电极通过它们之间的绝缘层形成存储电容。
2.如权利要求1所述的液晶显示装置,其特征在于,所述透明公共电极通过接触孔与金属公共电极线电连接。
3.如权利要求1所述的液晶显示装置,其特征在于,所述透明公共电极的图案面积大于像素电极图案面积。
4.如权利要求1所述的液晶显示装置,其特征在于,所述透明公共电极的四个角上有连接线。
5.如权利要求1所述的液晶显示装置,其特征在于,所述透明公共电极的四个边上有连接线。
6.如权利要求4或5所述的液晶显示装置,其特征在于,所述透明公共电极通过其连接线与相邻的透明公共电极电性连接。
7.如权利要求1所述的液晶显示装置,其特征在于,所述透明公共电极的材料为氧化铟锡。
8.一种液晶显示装置的制造方法,其特征在于,其包括以下步骤:
步骤a,在玻璃基板上沉积透明公共电极薄膜,通过光刻和腐蚀工艺形成透明公共电极方块和连接线;
步骤b,在完成步骤a的基板上依次沉积公共电极绝缘层薄膜和栅极扫描线薄膜,通过光刻和腐蚀工艺,形成栅电极扫描线和晶体管栅电极;
步骤c,在完成步骤b的基板上沉积栅电极绝缘层薄膜和非晶硅薄膜,通过光刻和腐蚀工艺,形成硅岛;
步骤d,在完成步骤c的基板上沉积一层金属薄膜,通过光刻和腐蚀工艺,形成数据线、公共电极线、晶体管源电极、漏电极;
步骤e,在完成步骤d的基板上沉积一层钝化层,通过光刻和腐蚀工艺形成漏极部分的钝化层接触孔;
步骤f,在完成步骤e的基板上沉积一层透明导电薄膜,通过光刻和腐蚀工艺,覆盖漏电极上的接触孔,形成像素电极。
9.如权利要求8所述的液晶显示装置的制造方法,其特征在于,所述形成栅电极扫描线的步骤中形成像素电极的遮光条。
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