[发明专利]半导体器件光学检测装置及检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体器件的检测技术，更具体地说，涉及半导体器件的 光学检测技术。

背景技术

在半导体器件的检测技术中，需要对器件进行宏观的检测(macro inspection)，宏观检测通常都是采用光学检测。光学检测的基本原理是由 光源产生光并照射到待检测的半导体器件上，然后使用光学显微镜对半导 体器件进行检测。通常，检测半导体器件上不同的部分需要采用不同颜色 的光。比如检测器件的整体状况时需要使用白光，而检测LCOS时需要使 用绿光。并且，不同的光对于光学检测灵敏度也不同，因此，对于不同检 测要求的光学检测，或者使用不同的光学显微镜，就需要使用不同颜色的 光。

在现有技术中，所采用的光源都是单色光源，因此，对于需要不同颜 色的情况，需要进行光源的更换或者使用不同的检测装置进行检测。这在 检测的速度和成本上都带来了缺点，于是，就需要一种能够提供多色光的 光学检测装置。

发明内容

本发明的目的是提供一种新型的半导体器件光学检测技术，能够在一 个光学检测装置中提供多种颜色的光，同时满足对于不同颜色光的需求。

根据本发明的一方面，提供一种半导体器件光学检测装置，包括：

光学显微镜，对半导体器件进行光学检测；

光源，照射所述待检测的半导体器件，其中，光源产生不同颜色的光， 用于宏观检测不同的半导体器件。

根据本发明的一实施例，所述光源包括：

光生成装置，产生一合成光；

光分解装置，将合成光分解成各色的单色光；

光选择装置，选择所需要的单色光并输出照射待测的半导体器件。

其中，光分解系统包括滤光器件，将合成光分解成各色的单色光，且 单色光在空间上分散分布。并且，光选择装置为空间选择装置，从在空间 上分散分布的单色光中选择所需要的单色光。

根据一实施例，光合成装置产生的合成光为白光。

根据本发明的第二方面，提供一种半导体器件光学检测方法，包括：

提供一产生不同颜色的光的光源，并照射半导体器件，其中，不同颜 色的光用于宏观检测不同的半导体器件；

用光学显微镜对半导体器件进行光学检测。

根据本发明的一实施例，提供一产生不同颜色的光的光源并照射半导 体器件包括：

产生一合成光；

将所述合成光分解成各色的单色光；

选择所需要的单色光并输出照射所述待测的半导体器件。

其中，将合成光分解成在空间上分散分布的各色的单色光。并且，从 在空间上分散分布的单色光中选择所需要的单色光。

根据一实施例，该合成光为白光。

采用本发明的技术方案，能够在一个光学检测装置中提供多种颜色的 光，以满足不同的应用需求，本发明的技术方案在各色光之间的切换十分 方便迅速，并且只需要采用一个光学检测装置，成本较低。

附图说明

本发明的上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图对 实施例的描述而变得更加明显，在附图中，相同的附图标记始终表示相同 的特征，其中：

图1是根据本发明的一实施例的半导体器件光学检测装置的结构图；

图2是根据本发明的一实施例的半导体器件光学检测方法的流程图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例进一步说明本发明的技术方案。

根据本发明，提供一种半导体器件光学检测装置，参考图1，该装置 100包括：

光学显微镜102，对半导体器件104进行光学检测。

光源106，照射待检测的半导体器件104，其中，光源106产生不同 颜色的光，用于宏观检测不同的半导体器件104。

根据图1所示的实施例，该光源106包括：

光生成装置160，产生一合成光。一般而言，该合成光可以为白光。

光分解装置162，将合成光分解成各色的单色光。根据图1所示的实 施例，该光分解装置162包括滤光器件，将合成光分解成各色的单色光， 且单色光在空间上分散分布。该光分解装置162的滤光器件可以采用诸如 偏振片、棱镜等的元件实现，将合成光分解成相互平行分布的、或者是散 射的单色光。