[发明专利]半导体器件光学检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种半导体器件光学检测装置，其特征在于，包括：

光学显微镜，对半导体器件进行光学检测；

光源，照射所述待检测的半导体器件，其中，所述光源产生不同颜色 的光，用于宏观检测不同的半导体器件。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光源包括：

光生成装置，产生一合成光；

光分解装置，将所述合成光分解成各色的单色光；

光选择装置，选择所需要的单色光并输出照射所述待测的半导体器件。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，

所述光分解系统包括滤光器件，将合成光分解成各色的单色光，且所 述单色光在空间上分散分布。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，

所述光选择装置为空间选择装置，从在空间上分散分布的单色光中选 择所需要的单色光。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，

所述光合成装置产生的合成光为白光。

6.一种半导体器件光学检测方法，其特征在于，包括：

提供一产生不同颜色的光的光源，并照射半导体器件，其中，所述不 同颜色的光用于宏观检测不同的半导体器件；

用光学显微镜对半导体器件进行光学检测。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述提供一产生不同颜色 的光的光源并照射半导体器件包括：

产生一合成光；

将所述合成光分解成各色的单色光；

选择所需要的单色光并输出照射所述待测的半导体器件。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，

将合成光分解成在空间上分散分布的各色的单色光。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，

从在空间上分散分布的单色光中选择所需要的单色光。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，

所述合成光为白光。