[发明专利]用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯

权利要求书

1.一种用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯，包括：

外部石英玻璃管，具有第一长度和第一横截面直径以及连接到基 座的第一端和朝向衬底的第二端，所述外部石英玻璃管被电感线圈环 绕；

内部石英玻璃管，具有第二长度和第二横截面直径以及连接到所 述基座的第一端和朝向所述衬底的第二端，所述第二横截面直径小于 所述第一横截面直径，使得所述内部石英玻璃管被设置成基本上与所 述外部石英玻璃管平行且位于所述外部石英玻璃管内；

中间石英玻璃管，具有第三长度和第三横截面直径以及连接到所 述基座的第一端和朝向所述衬底的第二端，所述第三横截面直径小于 所述第一横截面直径并大于所述第二横截面直径，使得所述中间石英 玻璃管被设置成基本上与所述外部石英玻璃管和所述内部石英玻璃 管平行且位于所述外部石英玻璃管与所述内部石英玻璃管之间，用于 提供在所述中间石英玻璃管与所述外部石英玻璃管之间的用于屏蔽 气体的通道，并用于提供在所述内部石英玻璃管与所述中间石英玻璃 管之间的用于等离子气体的通道，以在所述电感线圈被赋能时产生等 离子火焰；

第一石英玻璃环盘，同心地连接到所述外部石英玻璃管的所述第 二端的外侧；

第二石英玻璃环盘，同心地连接到所述中间石英玻璃管的所述第 二端的外侧，其中所述屏蔽气体的流型由所述第一石英玻璃环盘和所 述第二石英玻璃环盘来确定；以及其中所述中间石英玻璃管的所述第 二端延伸超出所述外部石英玻璃管的所述第二端；以及

至少一个化学物质喷嘴，位于所述第一石英玻璃环盘与所述第二 石英玻璃环盘之间，用于将化学物质源气体喷射到所述等离子火焰 中。

2.如权利要求1所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯，其 中所述外部石英玻璃管的所述第二端延伸超出所述内部石英玻璃管 的所述第二端。

3.如权利要求1所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯，其 中所述第一和第二石英玻璃环盘基本上与所述中间石英玻璃管垂直。

4.如权利要求1所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯，其 中所述中间石英玻璃管还包括：

至少一个开口，位于大致靠近所述中间石英玻璃管的所述第二端 附近，用于为所述喷射的化学物质源气体进入所述等离子火焰提供通 道。

5.如权利要求4所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯，其 中所述至少一个开口垂直地位于所述第一和第二石英玻璃环盘之间。

6.如权利要求1所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯，其 中所述第一、第二和第三横截面直径彼此为同心的。

7.如权利要求1所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯，其 中所述线圈垂直地位于所述第一石英玻璃环盘与所述基座之间。

8.如权利要求1所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯，其 中所述第一长度在100-300mm之间。

9.如权利要求1所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯，其 中所述第一直径在40-120mm之间。

10.如权利要求1所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯， 其中所述第二长度在75-225mm之间。

11.如权利要求1所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯， 其中所述第二直径在30-90mm之间。

12.如权利要求1所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯， 其中所述第三长度在135-400mm之间。

13.如权利要求1所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯， 其中所述第三直径在35-105mm之间。

14.如权利要求4所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯， 其中所述至少一个开口具有在8-24mm之间的高度。

15.如权利要求4所述的用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯， 其中所述至少一个开口具有在9-27mm之间的宽度。