[发明专利]图像位置测量装置及曝光装置

说明书

技术领域

本发明涉及图像位置测量装置和曝光装置，其中，图像位置测量装置具备测量在工件上形成的基准标记的位置的摄影组件；曝光装置具备该图像位置测量装置，根据所述图像位置测量装置测量到的基准标记的位置信息对在工件上形成的图像的位置进行调整。

背景技术

目前，公知的是例如在作为工件的印刷配线基板(以下，有时称为“基板”或“感光材料”)等上形成配线图案的激光曝光装置。该激光曝光装置具备载置作为图像曝光的对象的印刷配线基板的曝光载物台，且使该曝光载物台沿规定的输送路径移动。

具体而言，载置印刷配线基板的曝光载物台以规定的速度朝副扫描方向移动，在规定的读取位置，该印刷配线基板上的例如设在角部的对位孔(以下称为“对准标记”或“基准标记”)由CCD摄像机拍摄。然后，对照由该拍摄得到的印刷配线基板的位置，将描绘坐标系中的描绘对象区域进行坐标变换，由此对图像数据实施对准处理。

进行对准处理后，曝光载物台上的印刷配线基板在规定的曝光位置根据图像数据进行调制，并利用在多面反射镜的作用下向主扫描方向偏转的激光束对其上面形成的感光性涂膜进行扫描、曝光处理。由此，在印刷配线基板上的规定区域(描绘区域)内形成基于图像数据(对应于配线图案)的图像(潜像)。

还有，形成有图像(潜像)的印刷配线基板，在曝光载物台复位移动到初始位置后，从曝光载物台上取下，取下了印刷配线基板的曝光载物台向将下一印刷配线基板曝光的工序转移(例如，参照专利文献1)。

这样，在输送印刷配线基板的同时调制/照射激光束，由此，在该基板上形成图像的激光曝光装置中，为了正确地对准与印刷配线基板的描绘区域相对应的曝光位置，而对作为曝光位置基准的对准标记进行拍摄，基于该位置(基准位置数据)的测定结果，使曝光位置对准适当位置。即，测定曝光载物台上的基板的位置及基板自身的变形，与其相对应而对曝光图像的位置进行修正。

专利文献1：日本特开2000-338432号公报

但是，用于摄影的透镜存在变形，即使是CCD摄像机等摄像元件，也存在像素间距的误差或元件本身的变形。虽然这些变形微小，但是对于对准标记的位置测量精度要求高的情况下，存在不能忽视给予对准标记摄影精度的影响的问题。

发明内容

本发明正是鉴于所述情况而开发的，其目的在于，提供一种图像位置测量装置和具有该图像位置测量装置的曝光装置，能够避免摄像元件及透镜的变形造成的影响，提高工件上附带的基准标记的位置测量精度。

为实现所述目的，本发明的第一方面提供一种图像位置测量装置，其具备：摄影组件，其包括摄像元件及/或透镜，用于测量在工件上形成的基准标记的位置；修正组件，其修正所述摄像元件及/或透镜的变形。

而且，在所述第一方面的图像位置测量装置中，所述修正组件也可以预先测定由于所述摄像元件及/或所述透镜的变形产生的摄影图像的变形，根据由测定得到的变形数据对摄影图像数据进行修正。

根据所述构成的图像位置测量装置，由于得到修正了摄像元件及/或透镜的变形的摄影图像数据，故能够提高基准标记的摄影精度(位置测量精度)。

另外，所述第一方面的图像位置测量装置中，所述摄影组件也可以具备能用于使所述透镜以其光轴为中心进行转动及固定的机构。

根据所述构成的图像位置测量装置，能够容易地选择使用透镜变形最小的区域。另外，虽然通常若提高透镜的放大率则变形增加，但因为能够选择即使透镜的放大率提高也可以使变形的影响最小的区域，所以可以使用价格较低廉的透镜。因而，在成本方面也有优点。

另外，在所述第一方面的图像位置测量装置中，也可以将多个所述摄像元件一维排列。

根据所述构成的图像位置测量装置，由于变形修正数据仅是一维的，因此，能够容易地修正摄影图像数据。另外，由于透镜的使用区域窄，故也具有可容易地选择透镜的变形为最小的部分的优点。

另外，所述第一方面的图像位置测量装置中，也可以具备能载置所述工件且能沿着规定的输送路移动的载物台，在使该载物台移动的同时对在工件上形成的所述基准标记进行拍摄。

根据所述构成的图像位置测量装置，实现了相对于工件的处理效率的提高。由此，生产效率得以提高。

另外，本发明第二方面提供一种曝光装置，其具备：图像位置测量装置，其具有包括摄像元件及/或透镜且用于测量在工件上形成的基准标记的位置的摄影组件和修正所述摄像元件及/或透镜的变形的修正组件；曝光组件，其基于图像数据对所述工件进行曝光，所述图像数据通过基于由所述图像位置测量装置拍摄的所述基准标记的位置信息进行修正而得到。