[发明专利]图像位置测量装置及曝光装置

权利要求书

1.一种图像位置测量装置，其具备：

摄影组件，其包括摄像元件及/或透镜，用于测量在工件上形成的基准标记的位置；

修正组件，其修正所述摄像元件及/或透镜的变形。

2.如权利要求1所述的图像位置测量装置，其特征在于，所述修正组件预先测定由于所述摄像元件及/或所述透镜的变形产生的摄影图像的变形，根据由测定得到的变形数据对摄影图像数据进行修正。

3.如权利要求2所述的图像位置测量装置，其特征在于，所述变形数据包含根据通过预先拍摄作为基准的图形所得到的数据而算出的数据。

4.如权利要求1所述的图像位置测量装置，其特征在于，所述摄影组件具备用于使所述透镜以其光轴为中心进行转动及固定的机构。

5.如权利要求1所述的图像位置测量装置，其特征在于，所述摄影组件具有多个摄像元件，该多个摄像元件一维排列。

6.如权利要求1所述的图像位置测量装置，其特征在于，还具备能载置所述工件的载物台，该载物台能沿着规定的输送路移动，在工件上形成的所述基准标记在该载物台的移动中被拍摄。

7.一种曝光装置，其具备：

图像位置测量装置，其具有包括摄像元件及/或透镜且用于测量在工件上形成的基准标记的位置的摄影组件和修正所述摄像元件及/或透镜的变形的修正组件；

曝光组件，其基于图像数据对所述工件进行曝光，所述图像数据通过基于由所述图像位置测量装置拍摄的所述基准标记的位置信息进行修正而得到。

8.如权利要求7所述的曝光装置，其特征在于，所述修正组件预先测定由于所述摄像元件及/或所述透镜的变形产生的摄影图像的变形，根据由测定得到的变形数据对摄影图像数据进行修正。

9.如权利要求8所述的曝光装置，其特征在于，所述变形数据包含根据通过预先拍摄作为基准的图形所得到的数据而算出的数据。

10.如权利要求7所述的曝光装置，其特征在于，所述摄影组件具备用于使所述透镜以其光轴为中心进行转动及固定的机构。

11.如权利要求7所述的曝光装置，其特征在于，所述摄影组件具有多个摄像元件，该多个摄像元件一维排列。

12.如权利要求7所述的曝光装置，其特征在于，还具备能载置所述工件的载物台，该载物台能沿着规定的输送路移动，在工件上形成的所述基准标记在该载物台的移动中被拍摄。