[发明专利]一种高亮度固态发光组件的制造方法及发光组件无效
| 申请号: | 200610166001.9 | 申请日: | 2006-12-31 | 
| 公开(公告)号: | CN101212004A | 公开(公告)日: | 2008-07-02 | 
| 发明(设计)人: | 余其俊 | 申请(专利权)人: | 东莞高辉光电科技有限公司 | 
| 主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 | 
| 代理公司: | 深圳市凯达知识产权事务所 | 代理人: | 刘大弯 | 
| 地址: | 523270广东*** | 国省代码: | 广东;44 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 亮度 固态 发光 组件 制造 方法 | ||
1.一种高亮度固态发光组件的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)在基板上形成一可以产生光的发光单元,该发光单元包含以磊晶层叠方式形成的磊晶结构层体;
(2)在该基板的磊晶结构层体外表面的局部或全部,以透明材料披覆形成一透明粗化单元;
(3)制备一可与所述透明粗化单元材料进行化学反应、溶解其中部分组分的选择性蚀刻药水,并将所述基板上的透明粗化单元完全浸入所述药水中,持续10秒钟以上后取出;
(4)以等离子束轰击所述透明粗化单元的外表面,并持续30秒钟以上,使该外表面上形成深度为0.1~0.4μm的凹凸;
(5)在透明粗化层的上方预定位置形成与p型批覆层形成奥姆接触的p型电极;
(6)在n型批覆层的上方预定位置形成与n型批覆层形成奥姆接触的n型电极。
2.根据权利要求1所述的高亮度固态发光组件的制造方法,其特征在于,所述的步骤(2),还包括,以等离子束轰击所述透明粗化单元的外表面,并持续30秒钟以上,使其外表面组成改变,并使该外表面上形成微小的凹凸。
3.根据权利要求1或2所述的高亮度固态发光组件的制造方法,其特征在于,步骤(2)中所述的透明粗化单元的材料组分是下列物质或其组合之一:氧化铟锡;氧化锌锡;镍/氧化铟锡;镍/氧化锌锡;镍/金/氧化铟锡;镍/金/氧化锌锡;金/镍/金/氧化铟锡;金/镍/金/氧化锌锡。
4.根据权利要求3所述的高亮度固态发光组件的制造方法,其特征在于,步骤(3)中所述的选择性蚀刻药水,其组分是下列物质或其组合之一:盐酸;硝酸;盐酸与硝酸的混合液;以盐酸、硝酸或其混合液为基础,再添加适量缓冲液。
5.根据权利要求4所述的高亮度固态发光组件的制造方法,其特征在于,所述选择性蚀刻药水之盐酸,硝酸,或盐酸及硝酸与缓冲液的混合体积百分比范围0.01~100。
6.根据权利要求5所述的高亮度固态发光组件的制造方法,其特征在于,所述的选择性蚀刻药水,是溶解透明粗化单元组分中的的锡或锌。
7.根据权利要求1所述的高亮度固态发光组件的制造方法,其特征在于,所述步骤(2)中的透明粗化单元以蒸镀或溅镀的方式形成。
8.一种采用权利要求1所述高亮度固态发光组件的制造方法的发光组件,其包括:
一绝缘基板;
一设置在该基板上的发光单元,具有复数以磊晶层叠方式形成的磊晶结构层体,其可以光电效应产生光;
一外表明呈凹凸状的透明粗化单元,其特征在于,使该发光单元发出的光经由该透明粗化单元至外界时减小被全反射的几率,提高该发光单元的对外发光效率。
9.根据权利要求8所述的发光组件,其特征在于,所述透明粗化单元的外表面上形成的凹凸为自然分布,其深度不小于0.1μm。
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