[发明专利]薄膜晶体管、半导体器件、显示器、结晶方法和薄膜晶体管的制备方法有效
| 申请号： | 200610084254.1 | 申请日： | 2006-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN1929151A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 加藤智也;松村正清;中崎能彰 | 申请（专利权）人： | 株式会社液晶先端技术开发中心 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/04;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 半导体器件 显示器 结晶 方法 制备 | ||
【说明书】：
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