[发明专利]镀锌类钢板的表层氧化膜的膜厚测定方法有效
申请号: | 200580048890.2 | 申请日: | 2005-09-26 |
公开(公告)号: | CN101133300A | 公开(公告)日: | 2008-02-27 |
发明(设计)人: | 野吕寿人;名越正泰;平章一郎;杉本芳春;佐藤重臣 | 申请(专利权)人: | 杰富意钢铁株式会社 |
主分类号: | G01B15/02 | 分类号: | G01B15/02;G01N23/225 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 樊卫民;郭国清 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀锌 钢板 表层 氧化 测定 方法 | ||
1.一种镀锌类钢板的表层氧化膜的膜厚测定方法,其特征在于,利用电子探针显微分析仪或具有波长分散型X射线检测器的扫描电子显微镜,向镀锌类钢板的表面照射加速至3~6kV的电子射线,通过检测器和其后段的波高分析器测定由此产生的氧的Kα射线的强度,从而消除锌的L射线的二次射线的影响。
2.根据权利要求1所述的镀锌类钢板的表层氧化膜的膜厚测定方法,其特征在于,利用在经镜面研磨后的硅片上形成的已知膜厚的氧化硅被膜,生成表示氧的Kα射线的强度和氧化膜厚度的关系的校准线,利用该校准线计算出镀锌类钢板的表层氧化膜的膜厚。
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