[发明专利]用于化学和电解处理工件的装置和方法有效

专利信息
申请号: 200580021965.8 申请日: 2005-06-30
公开(公告)号: CN101061259A 公开(公告)日: 2007-10-24
发明(设计)人: 赖因哈德·施奈德 申请(专利权)人: 埃托特克德国有限公司
主分类号: C23C18/16 分类号: C23C18/16;C25D17/02;C25D7/12;B65G49/04
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 王永健
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 用于 化学 电解 处理 工件 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种用于化学或电解处理工件(1)的装置,该装置包含至 少一个用于处理所述工件的处理贮槽(2)及至少一个用于运输所 述工件的输送系统,该至少一个处理贮槽与至少一个清洁室区(3) 邻接,每个输送系统包含运输车架(18),其中清洁室区(3)与 一个或两个运输车架(18)相关联,且该清洁室区(3)与所述运 输车架一起可自一个处理贮槽(2)移动至另一个处理贮槽(2)。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述运输车架 设置于该清洁室区(3)之外。

3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述运输车架 (18)每个都包含运动驱动器(11)及运输车架底盘(9)。

4.根据权利要求2或3所述的装置,其特征在于,所述运输 车架(18)每个都包含升降机构(16)。

5.根据权利要求2-4中任一项所述的装置,其特征在于,所 述运输车架(18)每个都包含用于保持腾空杆(25)的可垂直移 动的接收装置(33)。

6.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,该 至少一个输送系统包含至少一个用于保持所述工件(1)的各自的 固持元件,该至少一个固持元件至少大体上设置于该清洁室区(3) 之内。

7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述固持元件 的至少一个选自夹持元件(14)和腾空杆(25)。

8.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,在 所述运输车架(18)与该至少一个固持元件之间提供至少一个连 接构件,该连接构件位于该清洁室区(3)的内部、外部或部分内 部和部分外部。

9.根据权利要求8所述的装置,其特征在于,所述连接构件 的至少一个选自横向部件(35)和起重机构(12、13)。

10.根据权利要求9所述的装置,其特征在于,所述横向部件 (35)由所述运输车架(18)保持。

11.根据权利要求9或10所述的装置,其特征在于,所述横 向部件(35)由各自的升降机构(16)保持。

12.根据权利要求9-11中任一项所述的装置,其特征在于, 所述起重机构(12、13)由所述横向部件(35)保持。

13.根据权利要求9-12中任一项所述的装置,其特征在于, 所述起重机构为起重活塞/缸系统(12、13)。

14.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,该 清洁室区(3)由至少一个清洁室外壳于空间上界定,该至少一个 清洁室外壳每个都包含至少一个牵引开口(7、24、26、27),该 至少一个清洁室外壳通过清洁气体的供应而可受压。

15.根据权利要求14所述的装置,其特征在于,该至少一个 牵引开口(7、24、26、27)由刷子或密封唇密封。

16.根据权利要求14或15所述的装置,其特征在于,所述横 向部件(35)大体上位于该清洁室区(3)的内部且穿过该至少一 个外壳上的该至少一个牵引开口(26、27)。

17.根据权利要求14-16中任一项所述的装置,其特征在于, 所述起重机构部分地位于该清洁室区(3)的内部且部分地位于该 清洁室区(3)的外部并且所述起重机构穿过该至少一个清洁室外 壳中的该至少一个牵引开口(7)。

18.根据权利要求14或15所述的装置,其特征在于,所述腾 空杆(25)穿过该至少一个外壳中的该至少一个牵引开口(26、 27)。

19.根据权利要求14-18中任一项所述的装置,其特征在于, 提供至少一个载入及卸出站(23),该工件(1)可自该载入及卸 出站穿过形成于该至少一个清洁室外壳中的一各自入口(24)而 运输进入该清洁室区(3)。

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