[发明专利]用于化学和电解处理工件的装置和方法有效
申请号: | 200580021965.8 | 申请日: | 2005-06-30 |
公开(公告)号: | CN101061259A | 公开(公告)日: | 2007-10-24 |
发明(设计)人: | 赖因哈德·施奈德 | 申请(专利权)人: | 埃托特克德国有限公司 |
主分类号: | C23C18/16 | 分类号: | C23C18/16;C25D17/02;C25D7/12;B65G49/04 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王永健 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 化学 电解 处理 工件 装置 方法 | ||
1.一种用于化学或电解处理工件(1)的装置,该装置包含至 少一个用于处理所述工件的处理贮槽(2)及至少一个用于运输所 述工件的输送系统,该至少一个处理贮槽与至少一个清洁室区(3) 邻接,每个输送系统包含运输车架(18),其中清洁室区(3)与 一个或两个运输车架(18)相关联,且该清洁室区(3)与所述运 输车架一起可自一个处理贮槽(2)移动至另一个处理贮槽(2)。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述运输车架 设置于该清洁室区(3)之外。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述运输车架 (18)每个都包含运动驱动器(11)及运输车架底盘(9)。
4.根据权利要求2或3所述的装置,其特征在于,所述运输 车架(18)每个都包含升降机构(16)。
5.根据权利要求2-4中任一项所述的装置,其特征在于,所 述运输车架(18)每个都包含用于保持腾空杆(25)的可垂直移 动的接收装置(33)。
6.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,该 至少一个输送系统包含至少一个用于保持所述工件(1)的各自的 固持元件,该至少一个固持元件至少大体上设置于该清洁室区(3) 之内。
7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述固持元件 的至少一个选自夹持元件(14)和腾空杆(25)。
8.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,在 所述运输车架(18)与该至少一个固持元件之间提供至少一个连 接构件,该连接构件位于该清洁室区(3)的内部、外部或部分内 部和部分外部。
9.根据权利要求8所述的装置,其特征在于,所述连接构件 的至少一个选自横向部件(35)和起重机构(12、13)。
10.根据权利要求9所述的装置,其特征在于,所述横向部件 (35)由所述运输车架(18)保持。
11.根据权利要求9或10所述的装置,其特征在于,所述横 向部件(35)由各自的升降机构(16)保持。
12.根据权利要求9-11中任一项所述的装置,其特征在于, 所述起重机构(12、13)由所述横向部件(35)保持。
13.根据权利要求9-12中任一项所述的装置,其特征在于, 所述起重机构为起重活塞/缸系统(12、13)。
14.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其特征在于,该 清洁室区(3)由至少一个清洁室外壳于空间上界定,该至少一个 清洁室外壳每个都包含至少一个牵引开口(7、24、26、27),该 至少一个清洁室外壳通过清洁气体的供应而可受压。
15.根据权利要求14所述的装置,其特征在于,该至少一个 牵引开口(7、24、26、27)由刷子或密封唇密封。
16.根据权利要求14或15所述的装置,其特征在于,所述横 向部件(35)大体上位于该清洁室区(3)的内部且穿过该至少一 个外壳上的该至少一个牵引开口(26、27)。
17.根据权利要求14-16中任一项所述的装置,其特征在于, 所述起重机构部分地位于该清洁室区(3)的内部且部分地位于该 清洁室区(3)的外部并且所述起重机构穿过该至少一个清洁室外 壳中的该至少一个牵引开口(7)。
18.根据权利要求14或15所述的装置,其特征在于,所述腾 空杆(25)穿过该至少一个外壳中的该至少一个牵引开口(26、 27)。
19.根据权利要求14-18中任一项所述的装置,其特征在于, 提供至少一个载入及卸出站(23),该工件(1)可自该载入及卸 出站穿过形成于该至少一个清洁室外壳中的一各自入口(24)而 运输进入该清洁室区(3)。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理