[实用新型]微机械角加速度传感器无效
| 申请号： | 200520024986.2 | 申请日： | 2005-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN2881649Y | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 李锦明;张文栋;刘俊;熊继军;秦丽;马游春;罗源源 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 山西五维专利事务所有限公司 | 代理人： | 李印贵 |
| 地址： | 030051山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 角加速度 传感器 | ||
【权利要求书】：
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