[发明专利]含有卤素含氧酸、其盐及其衍生物的微电子清洗组合物有效
| 申请号： | 200480041602.6 | 申请日： | 2004-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN1954267A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 许建斌 | 申请（专利权）人： | 马林克罗特贝克公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;C11D11/00;C11D3/395;C11D7/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 含有 卤素 含氧酸 及其 衍生物 微电子 清洗 组合 | ||
【说明书】：
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