[发明专利]窄隙电容耦合反应器的射频脉冲调制有效
| 申请号： | 200480019139.5 | 申请日： | 2004-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN1816893A | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | P·勒温哈德特;M·斯里尼瓦桑;A·菲舍尔 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;张志醒 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 耦合 反应器 射频 脉冲调制 | ||
【权利要求书】：
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