[发明专利]基板的处理装置和处理方法有效
| 申请号： | 200410064062.5 | 申请日： | 2004-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN1576961A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 矶明典;西部幸伸;和歌月尊彦 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G03F7/00;B05B1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【说明书】：
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