[发明专利]能够运载处理对象进入并离开真空室的真空处理系统无效
| 申请号： | 200410030487.4 | 申请日： | 2004-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1532886A | 公开（公告）日： | 2004-09-29 |
| 发明（设计）人： | 玉井忠素 | 申请（专利权）人： | 玉井忠素 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张金熹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 能够 运载 处理 对象 进入 离开 真空 系统 | ||
【权利要求书】：
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