[发明专利]聚硅氧烷以及含有所述聚硅氧烷的光致抗蚀剂组合物的制备方法无效
| 申请号： | 03110543.2 | 申请日： | 2003-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN1526752A | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | G·G·巴克利;S·卡纳加萨巴帕森;M·A·京 | 申请（专利权）人： | 希普利公司 |
| 主分类号： | C08G77/06 | 分类号： | C08G77/06;G03F7/075 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚硅氧烷 以及 有所 述聚硅氧烷 光致抗蚀剂 组合 制备 方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于希普利公司，未经希普利公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/03110543.2/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
