[发明专利]成型用金属模及其制造方法无效
| 申请号： | 02103487.7 | 申请日： | 2002-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN1371792A | 公开（公告）日： | 2002-10-02 |
| 发明（设计）人： | 丹羽一弘;佐伯全一 | 申请（专利权）人： | 日本胜利株式会社 |
| 主分类号： | B29C33/38 | 分类号： | B29C33/38;//B29L1700 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谢丽娜,方挺 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 成型 金属 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种成形用金属模，其特征在于，在构成可动侧金属模和固定侧金属模的空腔的表面的母模基面上，设置有氮化膜和含氮的碳膜交替层积而成的多层膜17。
2.如权利要求1所述的成形用金属模，其特征在于，氮化膜的成分为氮化钛(TiN)、氮化硅(Si3N4)、氮化铝(AlN)、氮化钽(TaN)、氮化锆(ZrN)或氮化钛铝。
3.如权利要求1所述的成形用金属模，其特征在于，氮化膜与含氮的碳膜的层积周期为2nm至20nm。
4.一种成形用金属模的制造方法，其特征在于，在构成权利要求1所述的成形用金属模的空腔的表面的母模基面上设置的氮化膜和含氮的碳膜，是通过将成形用金属模安置在真空成膜室的基板托架上旋转的同时，根据反应性溅射法，在上述母模基面上沉积而形成的。
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