[发明专利]传送式基板处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示装置用玻璃基板的制造等中使用的传送式基板处理装置。

背景技术

液晶显示装置中使用的玻璃基板，通过对作为基材的玻璃基板的表面反复实施腐蚀、剥离等化学处理来制造。该处理装置大致分为干式和湿式；湿式又分为批量式和叶片式；叶片式又分为旋转式和基于滚轮传送等的传送式。

在这些基板处理装置中，传送式的装置具有将基板向水平方向传送的同时对该基板的表面供给处理液的基本结构，由于效率高，所以在以前被用于腐蚀处理和剥离处理。

腐蚀处理上使用的传送式基板处理装置从在基板传送线的上方矩阵状配置的多个喷射喷嘴中喷射腐蚀液，通过使基板在该腐蚀液中通过，向基板的整个表面供给腐蚀液。通过该喷淋处理，除涂敷了掩模材料的部分以外，基板的表面被有选择地腐蚀。腐蚀结束后，进行基于后续喷淋的清洗处理。剥离处理的装置也有基本上相同的结构。

但是，在液晶显示装置用玻璃基板中，在基板的大型化的同时，电路的高精细化也在深入。作为在该基板上使用的布线材料，以前大多使用Cr，但随着目前的高精细化，正在转向使用电阻率值小的Al或Al/Mo。因此，即使腐蚀用的传送式基板处理装置，也开始使用Al腐蚀液，但随着使用该腐蚀液，发现以下的问题。

即，作为Al腐蚀液，使用以磷酸为主要成份的腐蚀液。基于该腐蚀液的Al的腐蚀率比基于Cr腐蚀液的Cr的腐蚀率高，由此可获得腐蚀率高的效果，但另一方面，腐蚀后的Al层的边缘面变为不适合下一层的层积的形状。

图3是表示腐蚀后的Al层的形状的剖视图。在作为基材的玻璃基板1上形成Al层2及Mo层3，在其上覆盖掩模材料4。通过腐蚀，在掩模材料4未覆盖的部分Al层2及Mo层3被除去，但残留的Al层2及Mo层3的边缘面变为用实线表示的峭立的急剧的倾斜。这样，在Al层2及Mo层3上不能稳定地载置下一层。为了稳定地载置下一层，如一点划线所示，需要使该边缘面的倾斜平缓。在没有Mo层3的情况下也存在同样的倾向。

此外，Al腐蚀液与Cr腐蚀液相比为高粘度，对玻璃基板4的表面的浸润性差。此外，如上所述，腐蚀率高。因此，在喷淋处理开始时腐蚀液的细的液滴冲击的部分变得处理不匀，即使在其后的喷淋处理也不能消除，在腐蚀后残留。

发明内容

本发明的目的在于提供一种传送式基板处理装置，适用于Al腐蚀，可以将Al层的边缘面形成适合下一层的层积的平缓的倾斜面，同时可以消除初期喷淋造成的处理不匀。

为了实现上述目的，本发明的传送式基板处理装置包括：喷淋方式的第1处理部，从基板的传送方向及与该传送方向成直角方向排列的多个喷射喷嘴向基板的整个表面供给处理液；以及化学刮刀方式的第2处理部，从在第1处理部的下游侧配置成一级或多级的缝隙喷嘴向基板表面的宽度方向整个区域膜状地供给处理液。

在适用于Al腐蚀的情况下，第1处理部中的喷淋处理的液置换显著，并可确保高腐蚀率，但Al层的边缘面成为不适合下一层的层积的急剧的倾斜面。通过第2处理部的化学刮刀处理，在基板的表面上腐蚀液变为薄载置的涂浆状，基本不进行液置换。因此，Al层的腐蚀从表面缓慢地进行，边缘面的倾斜变得缓慢。

通过在第1处理部的入口部设置在进行喷淋处理之前进行化学刮刀处理的缝隙喷嘴，在喷淋处理之前，使基板在处理液的流下膜中通过，均匀地淋湿基板的表面。一旦均匀地淋湿，即使在其后受到喷淋处理，也不会产生液滴造成的处理不匀。因此，通过在第1处理部的入口部设置缝隙喷嘴，还可消除初始喷淋造成的处理不匀。

本发明的传送式基板处理装置为了从处理液的处理部的入口部分大致在整个区域进行涂浆处理，还将向基板表面的宽度方向整个区域膜状地供给处理液的缝隙喷嘴沿基板的传送方向配置一级或多级。即，省略喷淋方式的第1处理部，仅通过化学刮刀方式的第2处理部，就能够进行处理液的处理。由此，尽管腐蚀率下降，但可有效地防止边缘面的急剧上升。

本发明的传送式基板处理装置特别适合于Al腐蚀，但对于其它腐蚀处理也有效，只是存在效果上的某些差异。

附图说明

图1表示本发明的一实施例的传送式基板处理装置的俯视图。

图2表示该基板处理装置的主要部分的侧视图。

图3表示腐蚀后的Al层形状的剖视图。

具体实施方式