[发明专利]研磨布及研磨方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种在要求表面精加工达到高精度的磁记录媒体及类似媒体的制造中使用的研磨布。特别是，在硬盘等磁记录盘片的制造过程中适于用来进行纹理加工(texture processing)的研磨布以及使用该研磨布的研磨方法。

背景技术

近年来，随着计算机等信息处理技术的发展，要求能够以高精度对磁记录媒体和硅片进行表面精加工。例如，在制造作为磁记录媒体的硬盘等的磁记录盘片时，要对铝、玻璃等的表面进行平滑化加工，继而经过镍-P电镀等非磁性电镀处理之后，形成由钴合金等材料形成的磁性薄膜层，再以碳等材料形成的表面保护层加以覆盖，而对于用来进行所说平滑化加工的研磨布提出了越来越高的要求。特别是，在对该磁记录盘片进行平滑化加工的最后阶段，为了在盘片表面形成细微的槽，要使用含有磨粒的研磨膏和研磨布进行被称作纹理加工的表面加工处理，而市场期待着一种对于实现大容量化、高密度化最为适合的研磨布。

作为纹理加工中所使用的研磨布，过去有由纤维直径为5μm左右的极细纤维制成的织物、栽植纤维直径为14μm左右的纤维而成的栽绒片等。而5μm左右的极细纤维不能做到充分研磨，而且作为织物，纤维缺乏自由度，而作为栽绒片，其表面排列着垂直的粗纤维，因而容易在盘片表面造成较深的伤痕，只能得到可靠性较低的磁记录媒体。

为解决上述问题，特开平9-277175号公报曾提出一种作为由纤维直径为10μm以下的极细纤维络合而成且表面具有毛茸的无纺布研磨片。但存在着这样的问题，即，以熔流法得到的无纺布，纤维的强度较差，而用一般分离纤维得到的无纺布，也由于只是依赖于物理络合，因而极细纤维容易脱落。此外，在纹理加工中通常是做成带状使用，而这种方法强度显得不够，不得不层叠加强层。另外，特开平11-138407号公报提出一种将织布的一部分织束切断使之起毛而成的研磨布。但需要将已然织成的布的织束的一部分切断以使直径不足2μm的极细纤维成为竖立毛茸，难以进行工业化生产。

另外，特开2000-237951号公报提出一种由含有0.3dtex以下的极细纤维的无纺布构成并且表面具有亲水性的研磨布。该研磨布具体使用的是由30根或30根以下的极细纤维而成的纤维束构成的无纺布，该极细纤维是聚对苯二甲酸乙二醇酯纤维，该纤维的直径从其制造方法来说是较为均匀的。作为该无纺布，由于构成纤维束的极细纤维的根数较少且纤维直径均匀，因此要使研磨布的强度与精度两个方面均保持高水平是困难的。

发明的任务

本发明是为解决上述问题而提出的，其目的是，提供一种在对磁记录媒体等的表面进行纹理加工时不会因研磨条件的改变而在盘片表面产生深槽(划伤)的、能够均匀地进行研磨且具有足够的强度的研磨布，以及使用该研磨布的磁记录盘片研磨方法。

实现发明任务的手段

根据本发明人的研究，发现前述本发明的目的可如下实现，即，一种以由纤维母材和在其中填充高分子弹性体而成的复合布构成的研磨布，其特征是，该纤维母材(1)由20～3000根极细纤维结束而成的纤维束构成，(2)该纤维束，其存在于从垂直于长度方向的截面的中心至半径的1/2的周围为止的中心部的极细纤维的平均直径(D1)为0.3～10μm，存在于从半径的1/2的周围至外周为止的外周部的极细纤维的平均直径(D2)为0.05～1μm，并且，D1/D2的比值为1.5以上。还发现本发明的目的可如下实现，即，作为如上所述的研磨布，其特征是，(a)一侧表面的吸水高度为20mm/小时以上，其相反一侧表面的吸水高度为5mm/小时以下，并且，(b)一侧表面经过起毛处理。

下面，对本发明的研磨布进行进一步详细的说明。

本发明的研磨布是由纤维母材和在其中填充高分子弹性体而成的复合布。该纤维母材是由极细纤维结束而成的纤维束构成，在纤维母材的表层部之外的母材内部中，存在于纤维束外部的主要是高分子弹性体。即，高分子弹性体实质性存在于纤维束之间所存在的空隙中。纤维束以由20～3000根极细纤维构成为宜，由50～2000根构成则更好，最好是由100～1600根极细纤维构成。若极细纤维不足20根，则外周部纤维的根数少，下面将说明的、中心部与外周部的平均直径的差异的效果难以得到发挥。另外，从生产率等角度来说，构成一根纤维束的极细纤维的细度的合计值以1～10dtex为宜，而最好是2～5dtex。