[发明专利]具有平面线圈的磁头的制造方法

权利要求书

1.一种制造磁头的方法，该磁头具有磁头面并且包括磁线圈，该线圈沿平行于磁头面的方向延伸，在该方法中，在第一衬底的第一侧形成该磁线圈，然后将设有磁线圈的第一衬底的第一侧粘接到第二衬底的一侧，然后将第一衬底的材料从第一衬底的第二侧清除，将第二侧从第一侧转开以形成磁头面。

2.如权利要求1所要求的方法，其中将硅衬底用作第一衬底，该硅衬底上设置有由绝缘材料构成的顶层，该顶层与第一侧相邻。

3.如权利要求2所要求的方法，其中完成在第一衬底上形成金属层的步骤之后，至少还有一个步骤涉及形成非导电材料层和形成另一个金属层以及形成二个相邻金属层之间的相互连接，以生成磁线圈。

4.如权利要求1所要求的方法，其中玻璃材料衬底用作第二衬底。

5.一种制造滑动头的方法，该滑动头具有空气轴承表面并包括平面磁线圈，该磁线圈沿着平行于空气轴承表面的方向延伸，在该方法中，在第一衬底的第一侧形成该磁线圈，然后将第一衬底的第一侧粘接到第二衬底的一侧，然后将第一衬底的材料从第一衬底的第二侧清除，将第二侧从第一侧转开以形成一个面，然后对该面形成结构以形成空气轴承的表面。

6.如权利要求5所要求的方法，其中在硅衬底上设置一个由绝缘材料构成的顶层以形成第一衬底，该顶层与第一侧相邻，其中采用玻璃的衬底作为第二衬底，并且其中在将第一衬底粘接到第二衬底之后清除该硅衬底。

7.如权利要求5所要求的方法，其中在形成磁线圈时，除磁线圈外还形成金属层，在对该面形成结构以便形成空气轴承表面时，至少部分地将该金属层清除以形成凹区。

8.如权利要求5所要求的方法，其中在形成磁线圈时，除了形成磁线圈外还形成吸热层。

9.如权利要求5所要求的方法，其中形成相互连接的线圈层叠以生成磁线圈。

10.一种采用如权利要求5至9所要求的方法制造的滑动头。

11.如权利要求10所要求的方法，其中顶层构成该滑动头的保护层。

12.一种用于在存储介质中进行磁或者磁光记录信息的系统，该系统包括如权利要求10所要求的滑动头。